Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния
- Автор:
Ковалгин, Алексей Юрьевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1995
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
237 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния», автор — Ковалгин, Алексей Юрьевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 1995 году. Объем работы: 237 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000149681. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций | Фадеев, Алексей Юрьевич | 2013 |
| Разработка конструкторско-технологических способов создания микроэлектромеханического датчика угла наклона | Чжо Мьо Аунг | 2018 |
| Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x(AlN)x на монокристаллическом кремнии | Харламов, Николай Александрович | 2014 |