Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x(AlN)x на монокристаллическом кремнии
- Автор:
Харламов, Николай Александрович
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2014
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
141 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Повышение точности расположения отверстий многослойных печатных плат при сверлении микроразмерным инструментом с твердосмазочным покрытием | Литвак, Юрий Николаевич | 2015 |
| Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов | Миркурбанов, Халит Абдулгазизович | 2005 |
| Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники | Матузов, Антон Викторович | 2008 |