Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния
- Автор:
Митченко, Иван Сергеевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2008
- Место защиты:
Ставрополь
- Количество страниц:
162 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния», автор — Митченко, Иван Сергеевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Ставрополь в 2008 году. Объем работы: 162 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004224127. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур | Дьячков, Сергей Александрович | 2000 |
| Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии | Алексейчук, Андрей Владимирович | 2007 |
| Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции | Данилкин, Евгений Викторович | 2008 |