Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники

• Автор: Аккулов, Руслан Иршатович
• Шифр специальности: 05.27.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2007
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 219 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение

Глава 1. Состояние вопроса, задачи исследования

1.1 Общие замечания.

1.2 Межоперационные транспортирующие средства. .

1.3 Объект исследования транспортная система гибкой автоматизированной линии.

1.4 Краткий обзор работ по теме исследования.

1.5 Задачи и методы исследования

1.6 Результаты и выводы

Р1 Глава 2. Исследование свойств тяговых органов пассиковых агрегатов.

2.1 Общие замечания.
2.2 Классификация тяговых органов пассиковых агрегатов
2.3 Механические характеристики пассиков
2.4 Вязкоупругие свойства комбинированных пассиков.
2.5 Сравнительные испытания пассиков на износоустойчивость
2.6 Результаты и выводы.
Глава 3. Исследование взаимодействия пассиков с роликами и транспортируемыми объектами.
3.1 Общие замечания.
3.2 Составление дифференциальных уравнений движения ветвей
иассикового а1регата.
3.3 Внешняя нагрузка на ветвях пассикового агрегата.
3.4 Решение дифференциального уравнения движения ветвей пассикового афегата при стационарном режиме его работы
3.5 Параметры взаимодействия пассика с роликами и транспортируемыми объектами
3.6 Результаты и выводы.
Глава 4. Исследование параметров генерации зафязнений элементами пассикового афегата.
4.1 Общие замечания. Критерий привносимой дефектности
4.2 Исходные условия для оценки интенсивности образования частиц изнашивания в парах зрения.
4.3 Интенсивность генерации загрязняющих частиц парами пассикролик
4.4 Интенсивность генерации загрязняющих частиц нарами пассиктранспортируемый объект.
4.5 Анализ влияния различных факторов на интенсивность генерации
загрязнений парами пассикролик и пассикТО
4.5.1 Влияние обобщенных параметров на интенсивность пылсгснсрации.
4.5.2 Численный анализ влияния значимых параметров.
4.5.3 Экспериментальная проверка полученных решений
4.6 Результаты и выводы
Глава 5. Технические нормы и методики для проектирования и эксплуатации ПАТС микроэлектроники.
5.1 Общие замечания
5.2 Технические нормы на параметры пассикового агрегата
5.2.1 Технические нормы на габаритные размеры ПА.
5.2.2 Тип пассика, нормы для размеров его сечения, предварительные
напряжение и натяжение пассика.
5.2.3 Диаметры роликов, величина хода натяжного устройства, минимальный зазор между секциями и другие нормы и рекомендации
5.3 Методика основная проектирования пассикового афегата.
5.3.1 Выбор типа пассика.
5.3.2 Назначение межосевого расстояния а.
5.4 Особенности проектирования пассиковых секций для зафузки
и разфузки транспортируемых объектов.
5.4.1 Особенность методики проектного расчета ПА при установке транспортируемого
объекта на движущиеся пассики
5.4.2 Особенности проектного расчета ПА при съеме транспортируемого объекта с движущихся пассиков.
5.5 Методики эксплуатации пассиковых афегатов
5.5.1 Хранение пассиков
5.5.2 Монтаж пассика
5.5.3 Предварительная вытяжка пассиков перед установкой в пассиковый агрегат.
5.5.4 Установка и контроль натяжения пассиков в ПА.
5.5.5 Рекомендации по повышению износостойкости комбинированных пассиков.
5.6 Результаты и выводы
Основные результаты и выводы работы.
ЛИТЕРАТУРА


Недостатки малые перемещения, усилия и жесткость недостаточно высокая технологичность конструкций трубчатых элементов невысокая точность позиционирования значительные колебания трубчатых элементов, которые могут вызывать интенсивную иылегенерацию, и неточности позиционирования. Пассиковые агрегаты. В качестве транспортирующих устройств рассмотрим пассиковые агрегаты, которые могут транспортировать кассет,I, контейнеры с пластинами или индивидуальные пластины. Пассиковые агрегаты выполняют из отдельных секций, оборудованных индивидуальными реверсивными приводами. Это позволяет собирать конвейеры различной протяженности и легко осуществлять гибкий маршрут пластин в межоперационном цикле при незначительном времени работы отдельных секций, так как каждая секция работает только во время прохождения через нее транспортируемого объекта. На рис. Рис. Схема секции пассикового конвейера. На ролики надеты несущие пассики. Для поддержания необходимого натяжения пассиков предусмотрено натяжное устройство. В секции обычно устанавливают по два параллельно работающих нассика, можно устанавливать также но три и более в ряд или в виде одной широкой ленты 6,7. На рис. Эта конструкция позволяет получать большую длину секции, приходящуюся на один привод. Однако в спаренной секции можно использовать только узкие пассики кроме этого, транспортируемый объект имеет неодинаковую устойчивость на подсекциях изза разных расстояний 1 и , между пассиками. Рис. Схема пассиковых секций. На рис. Наличие переходного участка с промежуточными пассиками позволяет устранять указанные недостатки спаренной секции но схеме рис. Отмстим, что на переходном участке, условия для движения транспортируемого объекта отличны, чем на подсекциях кроме этого секция с переходным участком конструктивно более сложна, имеет большее число подвижных соединений, способствующих повышению выбросов загрязняющих частиц. В качестве приводов в секциях используется микроэлектродвигатели с понижающими передаточными механизмами. Для повышения уровня чистоты в герметизированном транспортном тракте максимальное число элементов приводов размещают за пределами этого тракта. Поэтому передача движения к ведущему ролику осуществляется с помощью герметичных вводов и передач. Используют две группы гермовводов через герметические перегородки и с контактными уплотнениями на валу. Гермовводы через перегородки магнитные приводы, с помощью сильфонных уплотнений предпочтительнее, так как они содержат меньшее число трущихся пар и поэтому являются более чистыми, чем вводы с контактными уплотнениями на валу. Из недостатков следует отметить малая изученность пассиковых агрегатов, отсутствие надежных технических норм и методик для проектирования и эксплуатации отсутствие конструкций пассиков, отвечающих критерию минимума пылегенерации необходимость установки натяжных устройств для пассиков. Объект исследования транспортная система гибкой автоматизированной
Состав и функциональные связи технических средств управления одного из вариантов разработанной НИИТМ гибкой автоматизированной линии для производства изделий полупроводникового производства, показаны на рис. Вакуумная транспортная система ВТС ГАЛ предназначена для межоперанионного перемещения и накопления в вакуумированном туннеле полупроводниковых пластин при индивидуальной их обработке в технологических модулях, работает по гибкому маршруту с управлением от микропроцессорной системы. Конструктивно ВТС выполнена в виде двух вакуумнотранспортных линий, установленных в чистых коридорах. Каждая линия может работать с технологическими модулями ТМ1ТМ4, рис. Общее управление двумя транспортными линиями осуществляется центральным пультом управления МНУ и пультом управления ПУ3. Система управления ВТС реализована на базе блока Орион, обеспечивающий взаимодействие механизмов транспортной системы обмен информацией между технологическими модулями и системой ВТС осуществляется по телеграфным каналам. Модуль зафузки выгрузки. Тупиковую камеру. Все эти устройства связаны между собою в определенной последовательности, обеспечивающей автоматический режим работы ВТС.