Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе
- Автор:
Калугин, Виктор Владимирович
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
187 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе», автор — Калугин, Виктор Владимирович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Москва в 2001 году. Объем работы: 187 с. : ил. Внутренний код товара: 01000324112. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов | Харламов, Роман Валентинович | 2000 |
| Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров | Авдиенко, Александр Андреевич | 2004 |
| Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС | Громов, Дмитрий Геннадьевич | 2000 |