Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии
- Автор:
Сергеева, Ж. М.
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
1994
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
193 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии», автор — Сергеева, Ж. М., относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Москва в 1994 году. Объем работы: 193 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000187583. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Выращивание монокристаллов с использованием погруженного ОТФ нагревателя в строго контролируемых тепловых условиях | Гоник, Михаил Александрович | 2020 |
| Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского | Силаев, Иван Вадимович | 2008 |
| Разработка технологии гетероструктурных солнечных элементов на кристаллическом кремнии с использованием промышленных реакторов плазмохимического осаждения | Орехов, Дмитрий Львович | 2015 |