Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов

• Автор: Перевозникова, Яна Валерьевна
• Шифр специальности: 05.27.02
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2009
• Место защиты: Саратов
• Количество страниц: 188 с. : ил.

Введение
1 Состояние вопросов технологии производства, способов, схем и оборудования для откачки электровакуумных приборов
1.1 Основные направления разработки технологического процесса откачки электровакуумных приборов по сокращенному циклу

1.2 Технологический процесс камерной откачки ЭВП

1.3 Возможность устранения взаимного влияния электродов при камерной откачке электровакуумных приборов
2 Исследование влияния разнесения частей при камерной откачке на изменение давления в приборе и проводимость зазора
2.1 Определение оптимального расстояния между частями из условий обеспечения эффективной скорости откачки прибора
2.2 Определение проводимости зазора между разнесенными частями прибора при камерной откачке
2.3 Определение зависимости проводимости зазора от величины разнесения частей прибора при камерной откачке
2.4 Обоснование структурной схемы технологического процесса откачки электровакуумных приборов

3 Исследование влияния камерной откачки на параметры электровакуумных приборов

3.1 Исследование влияния величины разнесения частей на цикл откачки и параметры экспериментальных диодов
3.2 Технологические приемы при камерной откачке, приводящие к сокращению циклов откачки и улучшению параметров приборов
3.2.1 Исследование влияния откачки через короткий штенгель на параметры приборов с оксидными катодами
3.2.2. Исследование влияния предварительного обезгаживания оксидных катодов на эмиссионные характеристики приборов
3.2.3 Исследование влияния технологической обработки анодов на эмиссионную активность оксидных катодов электровакуумных приборов Откачка лампы бегущей волны по типовому технологическому процессу
3.3.1 Описание конструкции и принцип действия ЛБВ
3.3.2 Анализ базового технологического процесса откачки ЛБВ
3.3.3 Разработка усовершенствованной технологии откачки ЛБВ
3.3.4 Влияние усовершенствованной технологии откачки на параметры ЛБВ
Исследование влияния камерной откачки на параметры магнетрона, перенастраиваемых напряжением
3.4.1 Методика исследования влияния камерной откачки на параметры МЛН
3.4.2 Анализ технологии откачки приборов типа МЛН через щелевой зазор
3.4.3 Определение оптимальной проводимости зазора между частями генератораоболочек приборов типа МЛН при откачке
3.4.4 Влияние камерной откачки с оптимальным разнесением частей на вакуумные и электрические параметры МЛН
3.5 Исследование влияния откачки через короткий штенгель на выходные параметры вакуумных конденсаторов
3.6 Камерная откачка и герметизация диффузионной сваркой вакуумных реле
3.7 Исследование влияния камерной откачки на цикл откачки и параметры вакуумных дугогасительных камер
4 Высоковакуумное оборудование для камерной откачки электровакуумных приборов
4.1 Универсальная вакуумноводородная установка для откачки и сборки узлов с электровакуумного производства
4.2 Полуавтомат камерной откачки малогабаритных электровакуумных приборов
4.3 Установка камерной откачки ЭВП на базе откачного поста ЛМ
4.4 Высоковакуумная установка с инфракрасным нагревателем для камерной откачки электровакуумных приборов
Заключение
Список использованных источников


ЭВП на откачном посту . ЭВП с разнесением частей и экранированием электродов. Основную задачу откачки можно сформулировать как задачу уменьшения скорости выделения газов внутрь прибора при рабочем давлении до величины меньшей или равной скорости поглощения их гетером или откачки технологическим насосом. Для выполнения этой задачи необходим длительный прогрев оболочки и деталей прибора при достаточно высокой температуре. Кроме того, на операцию откачки ЭВП с оксидным катодом возлагается также задача термического разложения щелочноземельных карбонатов с частичным активированием катода. Для осуществления этих задач в приборе должно быть предварительно создано достаточно низкое давление. Унификация технологических процессов откачки может быть обеспечено на базе теоретически и экспериментально обоснованного типового технологического процесса откачки и применения камерного способа окачки ЭВП . При разработке режимов откачки приходится сталкиваться с вопросами, требующими противоречивых решений. Однако для большинства конструкций приборов форсированный режим недопустим по ряду причин. Например, при форсированном и высокотемпературном прогреве происходит коробление деталей, ухудшение вакуумной плотности паяных и сварных соединений, загрязнение катода летучими примесями, из которых изготовлены детали прибора и наоборот. Явления взаимного переноса загрязнений можно избежать, применяя совмещенные режимы вакуумнотермической обработки прибора . При проведении термического разложения карбонатов оксидного катода в процессе откачки прибор шрает роль реакционного сосуда, в котором должна быть осуществлена эта химическая реакция. Выделяющиеся при разложении карбонатов газы химически взаимодействуют с металлическими деталями прибора или адсорбируются ими . На поверхностях деталей осаждаются оксиды щелочноземельных металлов, остатки органических соединений биндера . Для устранения этих явлений предпринимались попытки выделить из процесса откачки операцию разложения карбонатов, т. Металлические детали приборов при различных температурах обезгаживания выделяют различные газы. Так, при низкой температуре до 0С выделяются преимущественно пары воды, водород и отчасти С, при более высоких СО, СО 2 ,И2 . При термической обработке оксидного катода из него сначала удаляется нитроклетчатка С6Н5Ы2, используемая для приготовления биндера. СН4. При дальнейшем увеличении температуры до 0. С из биндера выделяются также Н и 2. Несмотря на присутствие восстановительных газов Н2 и СО, результирующее влияние смеси газов для металлических деталей прибора оказывается окислительным. При температуре катода выше 0С из него выпариваются неразложившиеся остатки биндера, способные конденсироваться на холодных деталях прибора. При последующем нагреве деталей прибора эти вещества испаряются, однако, на накаленном катоде образуется слой углерода продукта их распада, что приводит к потемнению катода и полной потере эмиссии . Для устранения этого явления по достижении катодом температуры 0. С необходим нагрев оболочки и деталей прибора, т. В работе предложен способ предварительного разложения карбонатов а также биндера в отдельном вакуумном сосуде, а затем сборка прибора. При соприкосновении с воздухом окислы , , превращаются в гидрокарбонаты МеОН2, которые при откачке прибора снова превращаются в оксиды. Разложение гидроокисей происходит при более низких температурах и сопровождается меньшим газовыделением. При этом эмиссионная способность катодов повышается, а срок службы прибора увеличивается. Скорость разложения карбонатов по реакции МеС МеОС зависит от скорости подъема и величины температур катода и оболочки прибора, а также от равновесного давления С над поверхностью катода. Для увеличения скорости разложения карбонатов необходимо повышать температуру катода. Однако при быстром разложении ВаС, при котором равновесное давление С в приборе могло быть равно, например 0,1 Па, требуется нагревать катод до температуры около С , а это опасно как для подогревателя, так и для самого катода.