Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади

• Автор: Оскомов, Константин Владимирович
• Шифр специальности: 05.27.02
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Томск
• Количество страниц: 173 с.

Глава 1. Свойства ионноплазменных потоков генерируемых при распылении графита в вакууме. Углеводородная плазма импульсных разрядов атмосферного давления. Барьерный разряд. Глава 2. Экспериментальное оборудование, . Импульсный источник питания магнетрона. Плазменный источник с накаленным катодом. Рабочая камера для осаждения аСН пленок в барьерном разряде. Рабочая камера для осаждения аС. Н пленок в скользящем разряде. Измерительное и аналитическое оборудование. Измерительное и аналитическое оборудование. Методика определения характеристик единичной искры скользящего разряда атмосферного давления. Методика измерения параметров плазмы разрядов низкого давления. Методика исследования химического состава аСН пленок, полученных при атмосферном давлении, с помощью просвечивающей ИКспектроскопии. Методики измерения механических и оптических свойств аС и аС. Н пленок . Глава 3. Получение аСН пленок в углеводородной плазме несамостоятельного дугового разряда низкого давления. Параметры плазмы.


Углеводородные пленки, осажденные в барьерном разряде атмосферного давления из метана, отличаются высоким содержанием водорода НС 1, и умеренными скоростями роста 1ьЗ мкмч. Это сказывается на механических и оптических свойствах пленок все они имеют типичную для полимеров микротвердость ,,0,,4 ГПа, низкие коэффициент поглощения в видимом диапазоне а м1 для Л. Высокое содержание водорода в пленке определяется отношением Н низкой импульсной плотностью энергии мДжсм3, вкладываемой в газ. Повышение импульсной объемной плотности вложения энергии в случае поверхностного разряда в метане до И Джсм3 способствует образованию аСН пленок с высокими скоростями роста г0 мкмч. Основные характеристики данных аСН пленок зависят от удельного энерговклада на молекулу метана с его увеличением покрытия смещаются по своим свойствам от полимероподобных к алмазоподобным аС. Н пленкам. Получаемые покрытия У, ь9 ГПа более чем на порядок тверже полимероподобных углеводородных пленок и полимерных материалов, к тому же обладают достаточно высокой по сравнению с аСН пленками, получаемыми вакуумноплазменными методами прозрачностью в видимом диапазоне а м1 для . Поэтому, данные аСН пленки могут использоваться в качестве защитных покрытий на оптических деталях, изготовленных из мягких полимерных материалов поликарбонат, ПММА и др Кроме высокой скорости осаждения аСН пленок необходимо отметить также энергетическую эффективность и масштабируемость данного метода получения покрытий, что делает его технологически привлекательным.