Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники
- Автор:
Руденко, Константин Васильевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2007
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
298 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Нанотубулярные формы бора : особенности электронно-энергетического строения и проводящих свойств | Перевалова, Евгения Викторовна | 2012 |
| Исследование и разработка преобразователей магнитного поля на основе тонкопленочных анизотропных магниторезистивных структур с повышенной чувствительностью | Мазуркин, Никита Сергеевич | 2016 |
| Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии | Фадеев, Алексей Владимирович | 2014 |