Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники
- Автор:
Руденко, Константин Васильевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2007
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
298 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники», автор — Руденко, Константин Васильевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2007 году. Объем работы: 298 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004019428. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Локальная диагностика объектов микро-, нано- и оптоэлектроники в вакууме, газе и жидкости методами сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии | Голубок, Александр Олегович | 1999 |
| Туннельные и эмиссионные акселерометры на основе микроэлектромеханических систем | Вопилкин, Евгений Александрович | 2012 |
| Методы моделирования СБИС с использованием полунатурной модели МОП-транзистора | Денисенко, Виктор Васильевич | 2010 |