Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения
- Автор:
Воротилов, Константин Анатольевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2000
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
388 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения», автор — Воротилов, Константин Анатольевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2000 году. Объем работы: 388 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000294424. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Планарные параболические линзы из кремния для жесткого рентгеновского излучения | Григорьев, Максим Валентинович | 2003 |
| Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники | Громов, Александр Леонидович | 2016 |
| Разработка технологии изготовления материалов состава Bi2SexTe1-x и исследование термоэлектрических микромодулей на их основе | Ландышев, Владимир Александрович | 2008 |