Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения

• Автор: Воротилов, Константин Анатольевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 388 с. : ил.

ВВЕДЕНИЕ. И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ В ТЕХНОЛОГИИ ИС. Метод мелкодисперсного распыления. Процессы планаризации многоуровневой разводки ИС. Системы многоуровневой металлизации СБИС. СБИС. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. Запоминающие устройства с произвольной выборкой. Микроэлеюромеханические системы. Технология формирования сегнетоэлектрических пленок. Другие применения. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК. Силикатные пленки. Влияние исходного кремнийорганического соединения и
4. Аэрогели. Аэрогели материалы, формируемые при высушивании гелей в условиях, препятствующих их усадке напр, в процессе суперкритической сушки. Пористость аэрогелей достигает при размере пор 1 0 нм. Низкие величины показателя преломления 1, 1,3 и диэлектрической проницаемости 1,1 2,8, малая теплопроводность на порядка меньше чем у i и другие физические свойства аэрогелей определяют области их применения в качестве тепло и звукоизолирующих материалов, фильтров, изоляторов, катализаторов и пр. Волокна. В настоящее время зольгель методом получен широкий спектр волоконных материалов на основе силикатов, I, , различных титанатов, ниобатов и сверхпроводников, многие из которых выпускаются промышленно напр.


Аэрогели материалы, формируемые при высушивании гелей в условиях, препятствующих их усадке напр, в процессе суперкритической сушки. Пористость аэрогелей достигает при размере пор 1 0 нм. Низкие величины показателя преломления 1, 1,3 и диэлектрической проницаемости 1,1 2,8, малая теплопроводность на порядка меньше чем у i и другие физические свойства аэрогелей определяют области их применения в качестве тепло и звукоизолирующих материалов, фильтров, изоляторов, катализаторов и пр. Волокна. В настоящее время зольгель методом получен широкий спектр волоконных материалов на основе силикатов, I, , различных титанатов, ниобатов и сверхпроводников, многие из которых выпускаются промышленно напр. Япония . Пленки. Получение тонких пленок было первым применением и до сих пор остается одним из важнейших направлений зольгель технологии. Спектр применений пленок, полученных зольгель методом чрезвычайно широк, включая различные оптические покрытия, пленки для применения в электронике, химии, а также защитные механические покрытия ,. В табл. Следует отметить, чго, несмотря на то, что в последние годы область применения зольгель технологии значительно расширилась, потенциал данного метода в настоящее время реализован явно недостаточно, что связано, прежде всего, с недостаточной изученностью фундаментальных процессов формирования структуры гелей, механизмов гелеобразования, сушки, синтеза и т. Таблица 1. Область применения Примеры составов пленок
I. Пленки с электрооптическими и нелинейными оптическими свойствами оптические переключателя, ключи и т. С1. Люминесцентные пленки ОРМОСИЛ, Л с органич.