Получение и исследование тонких пленок нитрида алюминия и фотоприемных структур на их основе

• Автор: Спивак, Андрей Михайлович
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2009
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 122 с. : ил.

Глава 1. Тонкие пленки нитрида алюминия технология свойства, применение.

1.1. Основные свойства пленок нитрида алюминия

1.2. Фотоприемные устройства на основе тонких пленок нитрида

алюминия и особенности их формирования

1.3. Методы получения тонких пленок нитрида алюминия

Выводы и постановка задачи

Глава 2. Технология получения фоточувствительных структур на основе тонких

пленок нитрида алюминия

2.1. Конструктивные особенности фотоприемных структур с объемным зарядом на

основе пленок нитрида алюминия

2.2. Технология формирования контактных слоев

2.3. Технология получения пленок нитрида алюминия
Глава 3. Исследование свойств пленок нитрида алюминия и фотоприемных структур
на их основе
3.1. Методы исследования тонких пленок нитрида титана, нитрида алюминия и
фотоириемиых структур на их основе
3.2. Исследование структурных свойств пленок нитрида алюминия
3.3. Исследование электрофизических и фотоэлектрических
свойств фотоприемных структур
3.4. Оптимизация технологии нижнего электрода многослойных фотоприемных
структур
Глава 4. Модельные представления о механизмах фотоэлектрических явлений
фотоприемных структур на основе пленок нитрида алюминия
Заключение
Список литературы

Актуальность


Глава 1. Тонкие пленки нитрида алюминия технология свойства, применение. Основные свойства пленок нитрида алюминия
1. Фотоприемные устройства на основе тонких пленок нитрида
алюминия и особенности их формирования
1. Методы получения тонких пленок нитрида алюминия
Выводы и постановка задачи
Глава 2. Технология формирования контактных слоев
2. Технология получения пленок нитрида алюминия
Глава 3. Исследование структурных свойств пленок нитрида алюминия
3. Исследование электрофизических и фотоэлектрических
свойств фотоприемных структур
3. Глава 4. УФИ. Оно необходимо человеку для выработки витамина . Часть нм используется к примеру при флюорис центиой подсветке. Излучение же нм может вызывать повреждения глаз. Это так называемый вакуумный ультрафиолет. Собласти нм ультрафиолетового диапазона. Используя тексту рированные, т. С, т. МВ1. С перпендикулярно поверхности подложки. Ш 7 С1. Диэлектрики, СанктПетербург, г. СанктПетербург, г. СанктПетербург, г. ГЛАВА 1. ТОНКИЕ ПЛЕНКИ НИТРИДА АШОМИНИЛ ТЕХНОЛОГИЯ СВОЙСТВА, ПРИМЕНЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ. Пленки нитрида алюминия получают от аморфных до высоко текстурированных 0. В рис. Таблица 1. Пьезоэлектрическая константа е, Клсм2
Пьезоэлектрическая константа е, Клсм
Пьезоэлектрическая константа ез1, Клсм
Пьезоэлектрическая константа езз, Клсм


Рис. Структура энергетических Рис.