Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами
- Автор:
Путря, Михаил Георгиевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
2002
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
278 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами», автор — Путря, Михаил Георгиевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2002 году. Объем работы: 278 с. : ил. Внутренний код товара: 01002306321. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Физико-технологические основы разработки теплофизических микросистем на основе периодических тепловых процессов | Бохов, Олег Сергеевич | 2010 |
| Увеличение удельной выходной мощности и коэффициента усиления DpHEMT - транзисторов за счет повышения степени локализации горячих электронов в канале | Лукашин, Владимир Михайлович | 2015 |
| Термическое окисление монокристаллов карбида кремния политипа 6Н | Рябинина, Ирина Александровна | 2010 |