Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот

• Автор: Ильин, Алексей Сергеевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2012
• Место защиты: Черноголовка
• Количество страниц: 87 с. : 42 ил.

ВВЕДЕНИЕ

В. 1. Актуальность темы

В.2. Цель и задачи исследования

В.З. Научная новизна работы

В.4. Практическая ценность работы

В.5. Личный вклад диссертанта в данную работу

В.6. Положения, выносимые на защиту

В.7. Апробация работы

В.8. Публикации

В.9. Объем и структура диссертации

ГЛАВА 1. СВЕРХЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ БОЛОМЕТРЫ

СЕНСОРЫ НА КРАЮ СВЕРХПРОВОДНИКОВОГО ПЕРЕХОДА
Что такое СКПболометры
Области применения
Ионноплазменное осаждение тонких пленок
Постановка задачи данной диссертационной работы
ГЛАВА 2. ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКО
ПЛЕНОЧНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР ИЗ ТИТАНА ДЛЯ СКПБОЛОМЕТРОВ
Оборудование для изготовления структур и методы контроля характеристик
Получение и диагностика тонких пленок из титана
Исследование морфологии титановых пленок в РЭМ
Зависимость от условий осаждения
2.3. Формирование тонкопленочных титановых структур
методами электронной литографии и их исследование
Взрывная литография
Ионное травление через резисты
Ионное травление через титановую маску
Жидкостное травление
Использование полиэфирсульфона в качестве негативного резиста для
электронной литографии
Свойства полиэфирсульфона
Методика изготовления резиста
Исследование процесса электронной литографии с использованием РЕБ
Взрывная литография с маской из РЕБ
Жидкостное травление пленок титана через маску из РЕ8
Ионное травление пленок титана через маску РЕ8
Исследование характеристик образцов изготовленных с 6 использованием
полиэфирсульфона
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ
ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ


СКП. РЭМ, он же СЭМ растровый сканирующий электронный микроскоп. X длина волны излучения. ГГц гигагерц, 9 Герц, единица измерения частоты. К Кельвин, единица измерения температуры. В. 1. В.2. В.З. В.4. В.5. В.6. В.7. В.8. В.9. ГЛАВА 1. ГЛАВА 2. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. В.1. Актуальность темы. Я 3 0,1 мм, частоты 0, ТГц. В.2. Цель и задачи исследования. МЕР ВтГц. В.4. Практическая ценность работы. С использованием данных поглотителей в ИРЭ им. В.А. Тк 0, К. В.5. Личный вклад диссертанта в данную работу. Сверхпроводниковые терагерцовые болометроы в ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Совместно с А. И.А. Совместно с И. В.6. Положения, выносимые на защиту. ПММА, БЮг и полиэфирсульфона. I. v .