Доставка любой диссертации в формате PDF и WORD за 499 руб. на e-mail - 20 мин. 800 000 наименований диссертаций и авторефератов. Все авторефераты диссертаций - БЕСПЛАТНО
Ильин, Алексей Сергеевич
05.27.01
Кандидатская
2012
Черноголовка
87 с. : 42 ил.
Стоимость:
499 руб.
ВВЕДЕНИЕ
В. 1. Актуальность темы
В.2. Цель и задачи исследования
В.З. Научная новизна работы
В.4. Практическая ценность работы
В.5. Личный вклад диссертанта в данную работу
В.6. Положения, выносимые на защиту
В.7. Апробация работы
В.8. Публикации
В.9. Объем и структура диссертации
ГЛАВА 1. СВЕРХЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ БОЛОМЕТРЫ
СЕНСОРЫ НА КРАЮ СВЕРХПРОВОДНИКОВОГО ПЕРЕХОДА
Что такое СКПболометры
Области применения
Ионноплазменное осаждение тонких пленок
Постановка задачи данной диссертационной работы
ГЛАВА 2. ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКО
ПЛЕНОЧНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР ИЗ ТИТАНА ДЛЯ СКПБОЛОМЕТРОВ
Оборудование для изготовления структур и методы контроля характеристик
Получение и диагностика тонких пленок из титана
Исследование морфологии титановых пленок в РЭМ
Зависимость от условий осаждения
2.3. Формирование тонкопленочных титановых структур
методами электронной литографии и их исследование
Взрывная литография
Ионное травление через резисты
Ионное травление через титановую маску
Жидкостное травление
Использование полиэфирсульфона в качестве негативного резиста для
электронной литографии
Свойства полиэфирсульфона
Методика изготовления резиста
Исследование процесса электронной литографии с использованием РЕБ
Взрывная литография с маской из РЕБ
Жидкостное травление пленок титана через маску из РЕ8
Ионное травление пленок титана через маску РЕ8
Исследование характеристик образцов изготовленных с 6 использованием
полиэфирсульфона
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ
ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
СКП. РЭМ, он же СЭМ растровый сканирующий электронный микроскоп. X длина волны излучения. ГГц гигагерц, 9 Герц, единица измерения частоты. К Кельвин, единица измерения температуры. В. 1. В.2. В.З. В.4. В.5. В.6. В.7. В.8. В.9. ГЛАВА 1. ГЛАВА 2. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. В.1. Актуальность темы. Я 3 0,1 мм, частоты 0, ТГц. В.2. Цель и задачи исследования. МЕР ВтГц. В.4. Практическая ценность работы. С использованием данных поглотителей в ИРЭ им. В.А. Тк 0, К. В.5. Личный вклад диссертанта в данную работу. Сверхпроводниковые терагерцовые болометроы в ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Совместно с А. И.А. Совместно с И. В.6. Положения, выносимые на защиту. ПММА, БЮг и полиэфирсульфона. I. v .
Название работы | Автор | Дата защиты |
---|---|---|
Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии | Силаков, Михаил Валерьевич | 2003 |
Контроль кристаллов интегральных схем на основе статистического моделирования методом точечных распределений | Столяренко, Юлия Александровна | 2006 |
Фундаментальные основы технологии фемтосекундной лазерной кристаллизации сегнетоэлектрических микроструктур для устройств микро- и оптоэлектроники и их нелинейно-оптическая диагностика | Елшин, Андрей Сергеевич | 2018 |