Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
- Автор:
Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1997
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
279 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов», автор — Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1997 году. Объем работы: 279 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000179669. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Медленная релаксация емкости многослойных СВЧ-структур на основе пленок BaxSr1-xTiO3 в параэлектрической фазе | Алтынников, Андрей Геннадиевич | 2010 |
| Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах | Филипенко, Наталья Андреевна | 2002 |
| Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе анодных оксидных пленок меди | Светличная, Людмила Александровна | 2008 |