Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
- Автор:
Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1997
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
279 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов», автор — Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич, относится к типу: докторская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 1997 году. Объем работы: 279 с. : ил.. Внутренний код товара: 01000179669. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование ростовых дефектов упаковки монокристаллического кремния рентгенотопографическим методом на основе эффекта Бормана | Анисимов, Василий Геннадьевич | 2004 |
| Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки | Варзарев, Юрий Николаевич | 1998 |
| Твердотельные охлаждающие устройства на основе электрокалорического эффекта в сегнетоэлектрических материалах | Еськов, Андрей Владимирович | 2014 |