Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
- Автор:
Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Докторская
- Год защиты:
1997
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
279 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения | Ануров, Алексей Евгеньевич | 2018 |
| Магнитостатическое взаимодействие низкокоэрцитивных объектов в микроэлектронных устройствах | Скиданов, Владимир Александрович | 2004 |
| Анализ транспорта электронов в гетероструктурах квазибаллистических полевых транзисторов с учетом топологии кластеров радиационных дефектов | Киселева, Екатерина Валерьевна | 2006 |