Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом
- Автор:
Абрамова, Елена Александровна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Воронеж
- Количество страниц:
107 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Тонкие и ультратонкие пленки графита и их гальваномагнитные свойства | Фирсов, Анатолий Александрович | 2006 |
| Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур | Коломийцев, Алексей Сергеевич | 2011 |
| Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы | Голишников, Александр Анатольевич | 2002 |