Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом
- Автор:
Абрамова, Елена Александровна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Воронеж
- Количество страниц:
107 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом», автор — Абрамова, Елена Александровна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Воронеж в 2003 году. Объем работы: 107 с. : ил. Внутренний код товара: 01002606563. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Формирование и исследование наноструктур с полевым управлением проводимостью канала на основе молекулярных проводников и углеродных нанотрубок | Ромашкин, Алексей Валентинович | 2013 |
| Медленная релаксация емкости многослойных СВЧ-структур на основе пленок BaxSr1-xTiO3 в параэлектрической фазе | Алтынников, Андрей Геннадиевич | 2010 |
| Разработка и исследование быстродействующих наноструктур СБИС с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда | Рындин, Евгений Адальбертович | 2007 |