Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом
- Автор:
Абрамова, Елена Александровна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Воронеж
- Количество страниц:
107 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом», автор — Абрамова, Елена Александровна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Воронеж в 2003 году. Объем работы: 107 с. : ил. Внутренний код товара: 01002606563. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Сегнетоэлектрические тонкопленочные элементы для электрически управляемых СВЧ устройств | Иванов, Андрей Владимирович | 2004 |
| Полупроводниковые приборы на основе явлений токовой неустойчивости в p-n-переходах и омических контактах малого размера | Лысенко, Александр Павлович | 2001 |
| Диагностический контроль качества и надежности кремниевых биполярных интегральных схем | Бордюжа, Олег Леонидович | 1998 |