Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники
- Автор:
Коровкина, Наталья Михайловна
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2006
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
140 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы | Голишников, Александр Анатольевич | 2002 |
| Конструктивно-технологический базис термомикросистем с малой потребляемой мощностью | Поломошнов, Сергей Александрович | 2005 |
| Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктур на основе арсенида галлия методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники | Солодовник, Максим Сергеевич | 2013 |