Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
- Автор:
Силаков, Михаил Валерьевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
151 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии», автор — Силаков, Михаил Валерьевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2003 году. Объем работы: 151 с. : ил. Внутренний код товара: 01003296095. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Однослойные углеродные нанотрубки и некоторые композиты на их основе : строение и электронные свойства | Прокофьева, Елена Васильевна | 2010 |
| Резонансно-туннельные явления в однобарьерных GaAs/AlAs/GaAs гетероструктурах | Ханин, Юрий Николаевич | 2002 |
| Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности | Ежова, Ольга Александровна | 2018 |