Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
- Автор:
Силаков, Михаил Валерьевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
151 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Особенности распределения компонентов в наноразмерных структурах, выявленные методом вторично-ионной масс-спектрометрии | Молоканов, Олег Артемович | 2004 |
| Свойства джозефсоновских переходов с прослойкой из сильно легированного аморфного кремния | Гудков, Александр Львович | 2003 |
| Локальная диагностика объектов микро-, нано- и оптоэлектроники в вакууме, газе и жидкости методами сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии | Голубок, Александр Олегович | 1999 |