Диагностика источников электронов по двумерным изображениям

• Автор: Чебуркин, Александр Николаевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 126 с.

ГЛАВА I. Методы определения функции распределения электронов . Понятие изолинии. Послойное восстановление функции распределения . Фильтрация экспериментальных данных . Этапы вычислительных экспериментов. Результаты восстановления модельных функций распределения . Выводы к главе 1. Глава II. Состав пакета компьютерных программ для. ГЛАВА III. Этапы вычислительных экспериментов. Состав пакета компьютерных программ для. Результаты восстановления модельных функций распределения . Сравнение метода с компьютерной томографией. Направления развития метода. Заключение 2
источника на двумерном регистрирующем экране с пространственным разрешением. Функцию распределения точечного источника электронов по начальным скоростям можно интерпретировать как плотность тела конечных размеров в пространстве скоростей. В предложенном методе электроны, эмитированные источником, регистрируются на экране. В области движения электронов от источника до экрана для целей восстановления распределения прикладываются электрическое и магнитное поля.


Функцию распределения точечного источника электронов по начальным скоростям можно интерпретировать как плотность тела конечных размеров в пространстве скоростей. В предложенном методе электроны, эмитированные источником, регистрируются на экране. В области движения электронов от источника до экрана для целей восстановления распределения прикладываются электрическое и магнитное поля. Проводится сопоставление элементам поверхности экрана трубок в пространстве начальных скоростей источника. Число электронов, попавших в элемент поверхности экрана, равно интегралу по объему соответствующей трубки от функции распределения электронов. В дальнейшем задача сводилась к восстановлению искомой функции распределения но известным значениям интегралов от нее вдоль некоторых кривых в пространстве скоростей. Восстановление подынтегральной функции распределения но профилям интенсивности изображений на экране является обратной некорректно поставленной задачей. Полученная система интегральных уравнений приближенно решалась путем сведения к системе линейных алгебраических уравнений. Рассмотрена конфигурация модельного эксперимента, в которой изображения источника на экране регистрируются в присутствии постоянного однородного электрического поля в пространстве между источником и экраном. Описан алгебраический алгоритм реконструкции и состав пакета разработанных компьютерных программ для проведения модельных вычислительных экспериментов. Приведено описание проведенных вычислительных экспериментов по восстановлению модельных функций распределения, соответствующих существующим технологическим источникам в микроэлектронике, и результаты этих экспериментов.