Разработка способов синтеза трихлорсилана при повышенном давлении

• Автор: Аркадьев, Андрей Анатольевич
• Шифр специальности: 05.17.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 139 с. : ил.

ГЛАВА 1. Физикохимические особенности процесса гидрохлорирования кристаллического кремния . Влияние основных кинетических параметров на синтез трихлорсилана . Характеристика действующих промышленных производств получения трихлорсилана методом гидрохлорирования кристаллического кремния . Гидрирование с использованием высокоактивных восстановителей . Каталитическое гидрирование
1. Постановка задачи исследования . ГЛАВА 2. Определение удельной скорости гидрохлорнрования кристаллического кремния и ее зависимости от давления, температуры, концентрации и линейной скорости хлористого водорода в реакторе псевдоожижен ного слоя . Определение оптимальных режимных параметров проведения процесса каталитического гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния . ГЛАВА 1. При взаимодействии кремния с хлористым водородом происходит молекулярная адсорбция НС1 на поверхности i и образование активированного комплекса. Молекула хлористого водорода при переходе из адсорбциопнго состояния в активированный комплекс деформируется и адсорбция, как отмечается в работе 3, приобретает диссоциативный характер.


Степень деформации молекулы НС1 изучалась 3 с помощью кинетического изотопного эффекта КИЭ на образцах технического кремния чистотой мас. Между величиной КИЭ и значением энергии активации, а следовательно и порядком реакции по хлористому водороду НС1, соблюдалась корреляция менее активным образцам соответствовали более высокие энергии активации, более низкие I и КИЭ. Из этого можно заключить, что на активных образцах технический кремний молекула I, входящая в активированный комплекс, находится в диссоциированном виде, при этом образуются ii и i связи, а на образцах очищенного и чистого кремния молекула хлористого водорода мало деформирована и ее состояние, вероятно, сходно с адсорбционным 3. После образования активированного комплекса на поверхности кремния, точнее на активных центрах этой поверхности, происходит ряд химических превращений, представленных авторами работы 3 в виде стадийного механизма, при котором синтезируются промежуточные соединения НС1, , iI, i2, i, . I i4 . Вес вышеуказанные промежуточные соединения могут частично попадать в газовую фазу. В описанном выше механизме гидрохлорирования кремния авторы работ 3, 4 предполагают протекание химических стадий с участием промежуточных веществ в основном на поверхности i. Этот вывод подтверждается тем, что существенные экзотермические стадии процесса в объеме отсутствуют 3, то есть основные стадии процесса гидрохлорирования кремния протекают только на поверхности твердого реагента. Нам представляется этот вывод и механизм взаимодействия кремния с хлористым водородом, описанный в работах 3, 5, верными.