Численное моделирование плазмохимических реакторов травления
- Автор:
Горобчук, Алексей Геннадьевич
- Шифр специальности:
05.13.18
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Новосибирск
- Количество страниц:
222 с. : ил
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Численное моделирование плазмохимических реакторов травления», автор — Горобчук, Алексей Геннадьевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.13.18. Работа подготовлена в городе Новосибирск в 2003 году. Объем работы: 222 с. : ил. Внутренний код товара: 01002607706. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Нелинейные задачи на собственные значения, описывающие распространение ТЕ- и ТМ-волн в двухслойных цилиндрических диэлектрических волноводах | Смолькин, Евгений Юрьевич | 2014 |
| Моделирование процессов самообучения интеллектуальных систем на нечетких семантических сетях в недоопределенных средах | Красовская, Людмила Владимировна | 2006 |
| Эффективный метод расчёта электрического поля пучка заряженных частиц в ускорителе ионов | Оржеховская, Анна Александровна | 2008 |