Математическая модель экранируемого напыления : Вычислительный эксперимент, использующий результаты натурных экспериментов

• Автор: Севастьянов, Леонид Антонович
• Шифр специальности: 05.13.16
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 1998
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 259 с. : ил.

1.1. Процесс напыления один из методов изготовления

тонкопленочных элементов оптоэлектроники.

1.2. Постановка задачи.

1.3. Многолистовое экранирование невзаимодействующих

корпускулярных потоков.

1.4. Объемный экран произвольной формы.

1.5. Концепция эффективного распределения

1.6. Экранируемое напыление на подложку произвольной

формы

1.7. Предшествующие результаты, как частные случаи

изучаемой модели.

1.8. Задачи математической модели экранируемого
напыления
1.9. Устойчивые методы решения обратных задач
математической модели
1 Макропараметры эффективного распределения и
функции источника
ГЛАВА 2. Адиабатическая модель распространения
электромагнитного сигнала через плавнонерегулярную
диэлектрическую тонкую пленку
2.1. Трехмерная линза Люнеберга
2.2. 1 Ьланарные диэлектрические волноводы лучевое
описание.
2.3. Планарные тонкопленочные волноводные линзы
2.4. Адиабатические моды плавных переходов в
волноводах
2.5. Волновое описание планарных многослойных
диэлектрических волноводов
2.6. Уравнение адиабатических мод плавного перехода
планарного диэлектрического многослойного волновода
2.7. Граничные условия и адиабатические инварианты
2.8. Асимптотический метод решения уравнений
адиабатических мод
2.9. Адиабатические моды плавнонерегулярного перехода
метод поперечных сечений.
2 Адиабатические моды плавнонерегулярного перехода
лучевой метод в сжатых координатах.
2 Трассировка лучей, фазоволучевые сетки, сеточное
представление адиабатических мод. 1
ГЛАБЛ 3. Вычислительный эксперимент синтеза экранирующей маски для напыления диэлектрической
тонкопленочной волноводной линзы.
3.1. Принципиальные проблемы реализации
вычислительного эксперимента.
3.2. Синтез обобщенной линзы Люнеберга с полной и
неполной апертурой.
3.3. Синтез профиля толщины напыленного слоя
тонкопленочной волноводной линзы.
3.4. Способы измерения профиля толщины напыленного
слоя.
3.5. Синтез параметров экранирующей маски для
напыления ТВЛ Люнеберга.
3.6. Проверка состоятельности первого этапа
вычислительного эксперимента.
3.7. Измерения профиля толщины напыленного слоя
методом лучевого зондирования
3.8. Восстановление функции источника.
3.9. Синтез параметров экранирующей маски методами
прямой условной минимизации
3 Анализ состоятельности вычислительного эксперимента и принятия решения о его завершении.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА


ВВЕДЕНИЕ. ГЛАВА 1. Постановка задачи. Объемный экран произвольной формы. ГЛАВА 2. ГЛАБЛ 3. ТВЛ Люнеберга. Восстановление функции источника. Анализ состоятельности вычислительного эксперимента и принятия решения о его завершении. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. ЛИТЕРАТУРА. X их конечное число, они соответствуют корням i Л уравнений 1 , i. ОСИ Ох направлении, те. Х,У, г,о Кх,у,, их,у,, ,0xi х i xiXxii Собственная мода регулярной части волновода при попадании в нерегулярный участок возмущается. У каждого из этих лучевых полей ix,, изменение в вертикальном направлении несоизмеримо но пространственной частоте с изменением в горизонтальном направлении. Ох и медленных переменных. Л,гш1
и х, у, , I и0 х, 4,1,0 еч х, 4, ,. К x,,xii0,x,, лх,4,г x,4,i . Ш i5 х, 4, г ,1 х,I . У, , еАЧ О. V. г и х, ,г, Л х. Стоячие ВОЛНЫ Д,. Ру,г и Ру,г корней дисперсионных уравнений. Эти дисперсионные уравнения в свою очередь можно разложить по малому параметру. У .