Разработка и исследование электрических и оптических характеристик фотодетекторов ультрафиолетового диапазона спектра на основе твердых растворов AlxGa1-xN

• Автор: Курятков, Владимир Вениаминович
• Шифр специальности: 01.04.01, 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2006
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 203 с. : ил.

Введение. Глава 1. Шум в фотодетекторах. Спектральная чувствительность и фотодетекторов . Глава 2. Постановка экспериментов и экспериментальные методики . Установка роста эпитаксиальных структур МПЭ I. Установка измерения спектральной фотонувствителыюсти фотодетекторов. Плазменное травление. Травление x. Неселективное плазменное травление x. Выводы. Глава 3. Исследование электрических и оптических свойств слоев , I и КПСР. Исследование оптических и электрических свойств x. Исследование оптических и электрических характеристик , выращенного методом МПЭ с аммиаком на i 1. II. Выводы. Глава 4. Исследование легирования кремнием x. Исследование влияния кислорода на легирование магнием слоев 0 и x. Легирование слоев xI. Глава 5. Исследование электрических характеристик фотодиодов на барьере Шоттки, изготовленных на п, выращенном МПЭ на кремнии i. Предполагается, что шум тока, напряжения или сопротивления имеет частотную зависимость. Единицы измерения и А2Гц и В2Гц, соответственно. Поскольку описывает шум в полосе частот 1Гц, то полный шум прибора, необходимый для получения эквивалентной мощности шума согласно выражению 1.


Исследование электрических характеристик фотодиодов на барьере Шоттки, изготовленных на п, выращенном МПЭ на кремнии i. Предполагается, что шум тока, напряжения или сопротивления имеет частотную зависимость. Единицы измерения и А2Гц и В2Гц, соответственно. Поскольку описывает шум в полосе частот 1Гц, то полный шум прибора, необходимый для получения эквивалентной мощности шума согласно выражению 1. Экспериментально шумовой ток прибора измеряется в определенном частотном диапазоне, с заданным частотным разрешением, анализатором спектра с быстрым Фурье преобразованием . В настоящее время может быть использован анализатор спектра, такой как 0 анализатор сигналов, позволяющий измерять спектральную плотность шума менее чем А2Гц. ЛА чувствительность, измеренная в АВт. Для описания параметров фотодетекторов обычно используют два символа О и . Обнаружительная способность равна обратному значению АЕР, определенному для полосы частот 1 Нг и увеличивается с ростом разрешения детекторов. А площадь детектора, единица измерения см Гц1 Вт. Для детектора площадью 1 см2 для полосы частот в 1 Гц, Э равно . Обычно принято различать шумовые и лимитированные фоновым излучением характеристики . Величина используется для характеристики чувствительности фотодиодов. Сделаем некоторые комментарии о природе шума в фотодетекторах. Шум полупроводниковых приборов можно разделить на четыре типа 1 тепловой, 2 дробовый, 3 генерационнорекомбинационный и 4 1шум. Каждый из них имеет различную частотную зависимость и поэтому уникальную функцию плотности спектральной мощности шума, как показано на рис.