Товаров:
На сумму:

Электронная библиотека диссертаций

Доставка любой диссертации в формате PDF и WORD за 250 руб. на e-mail - 20 мин. 800 000 наименований диссертаций и авторефератов. Все авторефераты диссертаций - БЕСПЛАТНО

Расширенный поиск
Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина
  • Автор:

    Борисов, Виктор Одиссеевич

  • Шифр специальности:

    02.00.04

  • Научная степень:

    Кандидатская

  • Год защиты:

    2005

  • Место защиты:

    Новосибирск

  • Количество страниц:

    110 с. : ил.

  • Стоимость:

    250 руб.

Страницы оглавления работы



Целью данной работы является создание основ для разработки низкотемпературного процесса химического осаждения из газовой фазы слоев карбон игр ид а кремния как функциональных материалов с заданными физикохим ичес ки мне войствам и. Адаптация метода газофазного химического осаждения к условиям ввода паров новых летучих силильных производных несимметричного 1,1диметилгидразина НДМГ и их плазмохимической активации в режиме удаленной плазмы ВЧразряда. Детальное исследование химического строения, структуры и свойств полученных пленок карбонитрида кремния. Обобщение установленных взаимосвязей между параметрами процесса и свойствами целевого продукта. Развитие представлений о закономерностях плазмохимического синтеза слоев из силильных производных НДМГ, составляющих основу для разработки схем процессов осаждения пленок карбонитрида кремния с заданной совокупностью их свойств. Ы4 з. СхМ4 С3Ы4 или растворы замещения азота углеродом 3М4 3М4ХСХ. Разработана схема плазмохимического процесса синтеза слоев карбонитрида кремния, включающая применение в качестве вещсствиредшествеиииков новых высокоазотсодержащих кремнийорганических соединений силильных производных несиммегричного 1,1диметилгидразина ДМГ диметил2,2диметилгидразиносилана ДМДМГС и диметилбисдиметилгидразиносилана ДМбисДМГС, содержащих связи БК, . С и С5р3 . Установлено влияние состава реакционной газовой смеси и параметров процесса на скорости роста слоев. Найдены пределы варьирования параметров процесса, представляющие интерес для технологических применений. С использованием комплекса современных аналитических методов впервые проведено систематическое исследование химического строения, структуры и свойств синтезированных пленок. Установлены корреляции между свойствами пленок и химическим строением материала. Показано, что целенаправленным изменением условий синтеза. Развиты представления о закономерностях процесса химического осаждения пленок из силильных производных НДМГ, которые составляют основу технологии синтеза пленок карбонитрида кремния с заданной совокупностью свойств. Разработан новый низкотемпературный процесс синтеза слоев карбонитрида кремния, обладающих комплексом интересных с практической точки зрения свойств, чго делает его перспективным для использования в ряде передовых технологий. Установленные корреляционные зависимости между условиями синтеза и свойствами слоев позволяют получать пленки заданного состава и свойств. Схема процесса синтеза пленок карбонитрида кремния из новых высокоазотсодержащих веществпредшественников, силильных производных несимметричного диметилгидразнна. Резулг. Результаты исследования химического строения, структуры и свойств пленок карбонитрида кремния от параметров процесса, химического строения исходною веществапредшественника и типа активируемого газаносителя, установленные с использованием комплекса современных аналитических методов. Работа выполнена в соответствии с тематическим планом НИР института неорганической химии СО РАН по теме 4. Направленный синтез химических соединений с заданными свойствами. Создание научных основ технологий получения и применения практически важных веществ и веществ специального назначения. РФФИ 0 Синтез и исследование физикохимических свойств новых нанокрнсталлических функциональных материалов на основе карбонитрида кремния гг. Интеграционный проект СО РАН 4 Разработка новых многофункциональных кремиийазотсодержаших реагентов для микроэлектроники гг. УрО РАН Новосибирск, г. Международном симпозиуме Алмазные пленки и пленки родственных материалов Харьков, г. Плес, г. VI i ii i i i v i vii, XIV XV Ii ii vii, , X АРАМ i i vii, II Всероссийской конференции молодых ученых Материаловедение, технологии и экология в третьем тысячелетии Томск, г. Международной конференции но физической мезомеханике, компьютерному конструированиию и разработке новых материалов Томск, г. Всероссийской конференции Кремний Иркутск, г. Ii i i i, , . По материалам диссертации опубликовано научных работ, в том числе 8 статей в рецензируемых журналах и 7 тезисов и материалов научных конференций.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

Время генерации: 0.102, запросов: 962