Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками
- Автор:
Федотов, Сергей Дмитриевич
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2019
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
184
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках | Кравченко, Анатолий Анатольевич | 2012 |
| Разработка и исследование нанохарвестера пьезоэлектрической энергии на основе нанокристаллов оксида цинка | Козьмин, Александр Михайлович | 2013 |
| Ионно-лучевое осаждение наноразмерных структур GaInPAs-GaAs | Гусев, Дмитрий Александрович | 2015 |