Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
- Автор:
Спешилова, Анастасия Борисовна
- Шифр специальности:
05.27.06
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2019
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
131
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением», автор — Спешилова, Анастасия Борисовна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.06. Работа подготовлена в городе Санкт-Петербург в 2019 году. Объем работы: 131. Внутренний код товара: 01010034608. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Конструкторско-технологические основы создания микроэлектромеханических датчиков ускорения | Сан Мин Наинг | 2013 |
| Протонообменные световодные структуры в кристаллах ниобата лития различного состава | Фролова, Марина Викторовна | 2006 |
| Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления | Лютецкая, Ирина Геннадиевна | 1999 |