Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения
- Автор:
Ануров, Алексей Евгеньевич
- Шифр специальности:
05.27.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2018
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
149
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения», автор — Ануров, Алексей Евгеньевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.27.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2018 году. Объем работы: 149. Внутренний код товара: 01009669249. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Численное исследование коллективных процессов в микроэлектронных структурах и оптимизация приборов больших интегральных схем | Стрелкова, Надежда Григорьевна | 2009 |
| Морфологические особенности зарождения пор в процессе формирования макропористого кремния | Гаврилин, Евгений Юрьевич | 2006 |
| Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм | Дудников, Анатолий Сергеевич | 2002 |