Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии
- Автор:
Костомаров, Павел Сергеевич
- Шифр специальности:
05.13.12
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2015
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
231
Стоимость:
700 р.499 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии», автор — Костомаров, Павел Сергеевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.13.12. Работа подготовлена в городе Москва в 2015 году. Объем работы: 231. Внутренний код товара: 01008112308. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Автоматизация процесса синтеза структур физического принципа действия | Гопта, Евгений Александрович | 2014 |
| Теория и практика создания системы автоматизированного проектирования вторично-электронных канальных умножителей | Гончаров, Игорь Николаевич | 2009 |
| Разработка методов проектирования структур и инструментальных средств для создания интерактивных систем | Ромакин, Владимир Александрович | 2007 |