Доставка любой диссертации в формате PDF и WORD за 499 руб. на e-mail - 20 мин. 800 000 наименований диссертаций и авторефератов. Все авторефераты диссертаций - БЕСПЛАТНО
Уваров, Илья Владимирович
05.27.01
Кандидатская
2013
Ярославль
126 с. : ил.
Стоимость:
250 руб.
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления | Изюмов, Михаил Олегович | 2001 |
| Влияние спектрального состава света и фазового состава полупроводниковой мишени на вторично-ионный фотоэффект | Матасов, Максим Дмитриевич | 2013 |
| Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы | Голишников, Александр Анатольевич | 2002 |