Использование капилляров для формирования контакта металл-полупроводник

• Автор: Поярков, Вячеслав Николаевич
• Шифр специальности: 05.27.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Воронеж
• Количество страниц: 95 с. : ил

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. КОНСТРУКЦИИ КОРПУСОВ МАЛОМОЩНЫХ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДИОДОВ

1Л. Классификация корпусов диодов

1.2. Конструкция металлостеклянных корпусов

(КД-4, КД-5, КД-6, КД-7)

1.3. Конструкция металлического корпуса с проходным

изолятором

1.4. Теплоотвод в корпусах

ВЫВОДЫ К ПЕРВОЙ ГЛАВЕ

ГЛАВА 2. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛОКАПИЛЛЯРА,
ЗАПОЛНЕННОГО МЕТАЛЛОМ
2.1. Вытяжка капилляров, диаметром 0,58 мм из стекла марки С93-1 заполненных металлом, на установке И4.013.0
2.2. Вытяжка капилляра диаметром 0,58 мм с прерывистой
загрузкой металлом
2.3. Вытяжка капилляра с беспрерывным заполнением металлом
2.4. Выбор материалов контактирующего припойного
столбика (КПС)
2.5. Выбор оптимального диаметра припойного канала в КПС
ВЫВОДЫ ПО ВТОРОЙ ГЛАВЕ
ГЛАВА 3. ТЕХНОЛОГИЯ МОДИФИЦИРОВАННЫХ ДИОДОВ
КД512А И КД514А С КАПИЛЛЯРНЫМ ВЫВОДОМ
3.1. Технологический процесс производства модифицированных
диодов КД512А и КД514А
3.2. Изготовление стеклобусы, стеклотрубки, вывода,
изолятора, ножки
3.3. Изготовление кристалла
3.4. Основные узлы установки получения стеклоизоляторов
ВЫВОДЫ К ТРЕТЬЕЙ ГЛАВЕ
ГЛАВА 4. ОПТИМАЛЬНАЯ КОНСТРУКЦИЯ ДИОДОВ КД512А,
КД514А С КАПИЛЛЯРНЫМ КОНТАКТОМ И ИХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
4.1. Оптимальные значения механических параметров капиллярного столбика в экспериментальных диодах и их технология
4.2. Электрические параметры экспериментальных диодов с КПС
4.3. Технико-экономические показатели производства модифицированных диодов КД512А и КД514А
4.4. Проведение испытаний диодов КД512А КД514А с КПС
4.5. Влияние теплоизлучения и конвекции на тепловое сопротивление диодов с капиллярным контактом
ВЫВОДЫ К ЧЕТВЕРТОЙ ГЛАВЕ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

ВВЕДЕНИЕ
Актуальность темы. Современный этап производства электронных компонентов характеризуется развитием целых направлений электроники, все возрастающим объёмом научно-исследовательских и технологических работ, направленных на дальнейшее совершенствование имеющихся и создание новых полупроводниковых приборов. Примечательно, что один из самых первых полупроводниковых приборов - полупроводниковый диод - продолжает занимать достойное место там, где требуется выпрямление токов низкой частоты, нелинейное преобразование сигналов высокой частоты, работа в схемах с импульсами микросекундного и наносекундного диапазона, стабилизация напряжения. Производство различных по конструкции и назначению диодов привлекает значительные интеллектуальные усилия, направленные на повышение потребительских качеств изделий и совершенствование технологических процессов их изготовления.
Особый интерес представляют малогабаритные быстродействующие диоды в стеклянных корпусах. При видимой простоте конструкции, решение вопросов автоматизации процессов сборки является весьма сложным, особенно это касается диодов в миниатюрном корпусе КД-1 В этом отношении представляет особый интерес технология, при которой на контактном окне с поверхности кристалла формируется контакт в виде полусферы, что позволяет в дальнейшем максимально автоматизировать процесс сборки.
К сожалению, сложным и дорогостоящим является процесс выращивания «шарикового» контакта, а прижимной характер контакта увеличивает его сопротивление, вызывает повышенное число дефектов типа «обрыв» вывода при эксплуатации приборов, особенно при вибрации и ударной нагрузке.
Эти и другие недостатки вызвали необходимость разработки принципиально нового вида контакта кристалл-вывод и в целом новой конструкции диода. Таким образом, тема работы, посвящена созданию более подвижного контакта «металл-полупроводниковый кристалл».

Рис. 13. Вытяжка капилляра с беспрерывным заполнением металлом 1 - стеклотрубка; 2 - кварцевая заготовка; 3 — металл; 4 - печь;
5 - нагреватель; 6 - исходный капилляр