Исследование контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и его применение в источниках ионов

• Автор: Журавлев, Борис Иванович
• Шифр специальности: 05.12.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1983
• Место защиты: Рубежное
• Количество страниц: 201 c. : ил

Глава Г; Особенности генерации заряженных частиц в газовых разрядах низкого давления,' перспективных для ионных источников технологического назначения . V V ;; . . XI

1.1. Пути повышения эффективности генерации

заряженных частиц при низких давлениях V II

1.1.I. Разряд в поперечном магнитном поле

1^1.2. Свойства контрагированного разряда V •

1.1.3. Разряд с термокатодом,контрагированный кольцевой щелью с радиальным магнитным полем в ней

1.2; Газоразрядные источники интенсивных

ионных пучков на основе рассмотренных разрядов

Г.2.1. Плазменные ускорители с замкнутым

дрейфом электронов ; . V

Г.-2.2. Луоплазматрон и дуопигатрон

1.2-;3. Источник ионов на основе разряда с
термокатодом, контрагированного кольцевой щелью с радиальным магнитным полем
в ней
1;2.4. Источник ионов с замкнутым дрейфом
электронов в ускоряющем промежутке ;

Глава 24- Исследование контрагированного разряда
с замкнутым дрейфом электронов
2VIу Исследование перехода к самостоятельному режиму контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов &
2;.'2у Структура разряда,“ контрагированного в
скрещенных электрическом и магнитном полях с холодным полым катодом •. . V
2.2.1. Техника эксперимента
2.2.2. Результаты экспериментов
2.2.3*. Обсуждение экспериментальных результатов
2.3. Механизм генерации заряженных частиц в разряде, контратированном в скрещенных
полях, с холодным катодом
2.4. Свойства разряда с холодным полым
катодом как эмиттера ионов
Выводы
Глава 3/;- Расчетная модель разряда, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях, с холодным полым катодом <
3.1. Расчетные соотношения
3.2. Определение коэффициентов
3.34 Расчет внешних характеристик разряда
и их сравнение с экспериментом
Выводы
Глава 4,
4.1,
4.1.1,
4.1.2,
4.2,
Глава 5і, 5.Х?;

5.2,

Проектирование эмиттера для источников ионов на основе разряда с холодным полым катодом,5 контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях V :
Расчет геометрии электродов разрядной
камеры
Размеры катодной полости и системы
извлечения
Геометрия контрагирующей щели II29 Методика иняенерного расчета источника ионов на основе разряда,1 контрагированного в скрещенных полях, с холодным полым катодом . >*.'
Выводы .
Источники ионов на основе контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и их применение для технологических операций в вакууме . ■
Источник ионов на основе разряда с холодным полым катодом,' контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях
Конструкция источника ионов
Принцип действия и характеристики
источника ионов
Источник ионов на основе разряда с термокатодом, контрагарованного в
скрещенных полях
компенсации ток ионного пучка увеличивался в 40 раз при ускоряющем напряжении 5 кВ по сравнению с ионным током некомпенсированного источникам 3 таблице 1.1 приведены основные выходные параметры трех вариантов ионного источника рассматриваемого типа при изменении геометрии разрядной камеры и ускоряющего промежутка (выходного канала)'1;-
Таблица ГД
1 Параметры | I ! ! 2 1 ; з
Диапазон изменения энергии ионов,1 кэВ 0,5* 3 0,5* 5 0,5*
Ток пучка ионов, А 0,015* 0,075 0,1* 0,3 0,215*0,7
Размер выходного канала 53x3 (средний диаметр х ширина);1 67x3 123x3
мм
Размер источника (длина х диаметр), ш.2 160x150 ММ 130x210 130x240
Поскольку автор не приводит параметров разряда и расхода газа,1 то нет возможности оценить экономичности источника?;-Рассмотренный источник ионов целесообразно применять в целях,1 когда нет требований по обеспечению сплошных пучков ионов активных газов-.'
Выводы и задачи дальнейших исследований
Анализ некоторых особенностей генерации заряженных частиц в газовых разрядах низкого давления и известных устройств для получения интенсивных ионных пучков большой площади попе-