Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
- Автор:
Родионов, Илья Анатольевич
- Шифр специальности:
05.11.14
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2010
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
165 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения», автор — Родионов, Илья Анатольевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.11.14. Работа подготовлена в городе Москва в 2010 году. Объем работы: 165 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004799239. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Разработка процессов и оборудования для изменения структурного состояния тонкопленочных слоев оптических и магнитооптических носителей информации | Кузьминых, Александр Сергеевич | 2011 |
| Разработка технологического процесса лазерного параллельного термораскалывания хрупких материалов | Сорокин, Антон Владимирович | 2011 |
| Средства диагностирования виброактивности трибомеханических систем в процессе их производства | Мельников, Александр Львович | 2001 |