Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
- Автор:
Родионов, Илья Анатольевич
- Шифр специальности:
05.11.14
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2010
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
165 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике" | Баринов, Илья Николаевич | 2005 |
| Технологические методы и средства повышения точности волоконно-оптических преобразователей линейных и угловых перемещений отражательного типа | Юрова, Ольга Викторовна | 2012 |
| Исследование и разработка микрофлюидных устройств для анализа биологических объектов методами микроскопии высокого разрешения | Кухтевич, Игорь Владимирович | 2013 |