Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
- Автор:
Родионов, Илья Анатольевич
- Шифр специальности:
05.11.14
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2010
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
165 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Интегрированная система технологической подготовки производства изделий судового приборостроения | Василенко, Владимир Владимирович | 2004 |
| Разработка и исследование методов информационного обеспечения ЭС САПР ТП механической обработки деталей | Сисюков, Артем Николаевич | 2007 |
| Разработка технологии и устройств повышения точности и надежности определения концентрации растворов с использованием волоконно-оптических систем | Заренбин, Алексей Владимирович | 2013 |