Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
- Автор:
Родионов, Илья Анатольевич
- Шифр специальности:
05.11.14
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2010
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
165 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения», автор — Родионов, Илья Анатольевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.11.14. Работа подготовлена в городе Москва в 2010 году. Объем работы: 165 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004799239. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Расчет и изготовление интерференционных покрытий для оптических систем с заданными цветовыми характеристиками | Смирнов, Николай Николаевич | 2006 |
| Исследование гетероструктур и разработка технологии изготовления лазерных излучателей для волоконно-оптических систем | Ширяева, Наталья Алексеевна | 2006 |
| Разработка метода и технологии получения субмикронных сверхпроводящих туннельных переходов для низкотемпературных информационно-измерительных приборов | Паволоцкий, Алексей Борисович | 2003 |