Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем
- Автор:
Березина, Наталия Вадимовна
- Шифр специальности:
05.11.13
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2001
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
122 с.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем», автор — Березина, Наталия Вадимовна, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.11.13. Работа подготовлена в городе Москва в 2001 году. Объем работы: 122 с.. Внутренний код товара: 01002278972. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Спектрометр ионной подвижности для экспрессного обнаружения следовых количеств паров химических веществ | Мацаев, Владимир Тимофеевич | 2006 |
| Теоретические основы разработки устройств систем контроля и управления динамическими испытаниями и вибродиагностикой машин | Леньков, Сергей Викторович | 2006 |
| Разработка и исследование оптико-цифровой измерительной системы для контроля труднодоступных полостей энергоагрегатов | Филинов, Михаил Владимирович | 1999 |