Фазо-компенсирующие интерференционные тонкопленочные диэлектрические системы

• Автор: Никандров, Георгий Васильевич
• Шифр специальности: 05.11.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2014
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 118 с. : ил.

Оглавление
Введение

Глава 1. Формирование волнового фронта

1.1 Формирование отраженного волнового фронта градиентными диэлектрическими зеркалами

1.2 Мягкие диафрагмы

1.3 Киноформные элементы

1.4 Выводы по Главе

Глава 2. Фазо-компенсирующие многослойные диэлектрические

системы

2.1 Двухслойные диэлектрические системы, формирующие

фазо-компенсирующее покрытие
2.2 Трехслойные диэлектрические системы, формирующие
фазо-компенсирующее покрытие
2.3 Многослойные фазо-компенсирующие системы
2.3.1 Многослойные четвертьволновые фазо-компенсирующие покрытия
с градиентным верхним слоем
2.3.2 Многослойные четвертьволновые фазо-компенсирующие покрытия
с чередующимися градиентными слоями
2.4 Выводы по Главе
Глава 3. Формирование слоев переменной толщины по поверхности оптического элемента для фазо-компенсирующих систем
3.1 Расчет относительного расположения элементов для получения заданного распределения толщины слоев
3.2 Расположение оптических элементов в вакуумной испарительной установке
3.3 Экспериментальное исследование градиентных покрытий
3.3.1 Анализ параметров изготовленных градиентных покрытий

3.4 Экспериментальное исследование свойств фазо-компенсирующих покрытий для лазерной системы
3.4.1 Расчет параметров технологической оснастки
3.4.2 Расчет параметров двухслойного фазо-компенсирующего покрытия
3.4.3 Анализ параметров изготовленных фазо-компенсирующих покрытий
3.5 Экспериментальное исследование свойств фазо-компенсирующих зеркальных покрытий
3.5.1 Расчет параметров технологической оснастки для изготовления зеркального фазо-компенсирующего покрытия
3.5.2 Расчет параметров зеркального фазо-компенсирующего покрытия
3.5.3 Анализ параметров зеркального фазо-компенсирующего покрытия
3.6 Выводы по Главе
Выводы по работе
Список литературы
Приложение 1. Фотографии пятен лазерного излучения, прошедшего попеременно через два образца на различных расстояниях

Введение
Актуальность темы
Интерференционные диэлектрические системы широко применяются при создании зеркал, светоделителей, фильтров, просветляющих покрытий, обладающих малым поглощением. Диэлектрические покрытия, как правило, выполняют только одну функцию: изменение энергетических характеристик излучения. В ходе работы было показано, что одновременно им можно придать дополнительные функции, связанные с формированием фронта световой волны, например, исправление дефектов подложки, исправление аберраций получение длиннофокусных сферических и параболических зеркал, создание асферических поверхностей и другие. При этом необходимо, разумеется, чтобы присоединение второй функции не приводило к существенному ухудшению первой, связанной с формированием энергетических характеристик прошедшего или отражённого излучения.
Объектом исследований является принципиально новый тип оптических покрытий - фазо-компенсирующие. Это интерференционные покрытия, формирующие фронт отражённого или прошедшего светового излучения за счет переменной оптической толщины по поверхности элемента одного или нескольких слоев, при неизменном значении энергетического коэффициента отражения (пропускания).
Одна из областей применения таких покрытий — это создание асферических поверхностей оптических деталей. Одним из способов изготовления асферических поверхностей является механическая обработка. Недостатками данного метода является недостаточная точность, ограниченные возможности изготовления неосесимметричных элементов, высокая трудоемкость, а как следствие, высокая стоимость изготовления. Фазокомпенсирующие покрытия лишены подобных недостатков
Также возможно создание асферических поверхностей нанесением или удалением дополнительного слоя вещества, которое осуществляется методом

п1= 1.90 , ......... И]= 1.83 ,-----И]= 1.
Рис. 2.1.6 Зависимость энергетического коэффициента отражения Я от значения показателя
ПреЛОМЛеНИЯ П
Для подобных двухслойных систем показатель преломления второго четвертьволнового слоя может быть любым. И именно его значение будет определять значение энергетического коэффициента отражения. Зависимость энергетического коэффициента отражения от величины показателя преломления второго четвертьволнового слоя представлена на рисунке 2.1.7.