Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов
- Автор:
Полищук, Григорий Сергеевич
- Шифр специальности:
05.11.07
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Санкт-Петербург
- Количество страниц:
190 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование методов контроля параметров слоев в процессе осаждения многослойных систем | Ван Аймин | 2006 |
| Разработка математических методов моделирования и восстановления характеристик субдлинноволновых вторичных источников света | Иванова, Татьяна Владимировна | 1999 |
| Исследование методов описания формы сложных оптических поверхностей при интерферометрическом контроле | Гаврилин, Дмитрий Александрович | 2003 |