Разработка и исследование операционных преобразователей электрических величин для систем технологического контроля изделий микроэлектроники

• Автор: Андреев, Анатолий Борисович
• Шифр специальности: 05.11.05
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1983
• Место защиты: Пенза
• Количество страниц: 279 c. : ил

ГЛАВА I. АНАЖЗ ПУТЕМ УЛУЧШЕНИЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
1.1« Вводные замечания
1.2. Место и роль контрольно-измерительных операций в общем технологическом цикле производства микросхем
1.3. Анализ путей агрегатировэнного построения автоматизированных средств измерения для технологического контроля изделий микроэлектроники
1.4. Систематизированный обзор способов и средств операционного интегрирующего преобразования электрических величин для систем технологического контроля изделий микроэлектроники
Цели и задачи диссертационной работы
Основные результаты и выводы
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ДИНАМИЧЕСКОЙ ТОЧНОСТИ ОПЕРАЦИОННЫХ
ИНТЕГРИРУКЩХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
2.1. Вводные замечания
2.2. Анализ динамических свойств интегрирующих преобразователей следящего уравновешивания с нефинит-
. ной ИПФ при входном воздействии типа меандра
2.3. Исследование избирательных свойств интегрирующих преобразователей с финитной ИПФ в режимах синх-. ронного и фазового детектирования

2.4. Разработка динамической модели квадратичных интегрирующих преобразователей
2.5. Анализ влияния внутрисхемных шумов на результат преобразования операционных интегрирующих преобразователей как динамических систем
Основные результаты и выводы
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ НОВЫХ АЛГОРИТМОВ
ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ И БАЗОВЫХ СТРУКТУР ОПЕРАЦИОННЫХ ИПН
3.1. Вводные замечания
3.2. Разработка и исследование алгоритма функционирования и базовой структуры линейного ИНН следящего уравновешивания с нефинитной ИПФ
3.3. Разработка и исследование алгоритмов функционирования и базовых структур линейных ИПН уравновешивающего преобразования с финитной ИПФ
3.4. Разработка и исследование алгоритмов функционирования и базовых структур квадратичных ИПН
Основные результаты и выводы
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ПУТЕЙ УЛУЧШЕНИЯ ОСНОВНЫХ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ОПЕРАЦИОННЫХ ИПН И РАЗРАБОТКА КОНКРЕТНЫХ РЕКОМЕНДАЦИЙ ПО ИХ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЮ
4.1. Вводные замечания
4.2. Исследование возможности повышения входного сопротивления операционных ИПН
4.3. Разработка операционных ИПН сигналов низкого уровня (снижение порога чувствительности) 162.

4.4. Исследование возможности уменьшения времени преобразования ИПН при сохранении свойства подавления помех нормального вида с частотой промышленной сети
4.5. Разработка рекомендаций по улучшению других метрологических характеристик
Основные результаты и выводы
ЗАШНШИЕ
ЛИТЕРАТУРА
Приложение. Результаты практической разработки

4Z>

0)