Комплексная технология формирования поверхностных элементов на плоских и фасонных поверхностях электрофизикохимическими методами

• Автор: Гунин, Сергей Владимирович
• Шифр специальности: 05.03.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Тула
• Количество страниц: 140 с. : ил.

I. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. АНАЛИЗ ОБЪЕКТА ИССЛЕДОВАНИЯ. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ
1.1 Методы получения поверхностных элементов
1.1.1 Механические методы формирования поверхностных элементов на плоских поверхностях деталей
1.1.2 Методы формирования поверхностных элементов с использованием лазерного излучения
1.1.3 Химические и электрохимические методы формирования поверхностных элементов
1.1.4 Методы формирования с использованием масок на основе бумажных и полимерных защитных материалов
1.1.5 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе фоторезистивных материалов
1.2 Сравнение методов формирования поверхностных элементов
1.3 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе лакокрасочных и порошковых покрытий
1.4 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе порошковых красок с их последующей полимеризацией по заданной программе или готовой маске
1.5 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе порошковых красок с их последующим испарением по заданной программе
1.6 Обзор методов и оборудования для формирования
диэлектрических поверхностных слоев
1.6.1 Методы формирования однородной полимерной композиции с применением порошковых красок
1.6.2 Методы формирования защитной маски воздействием лазерного излучения на полимерную пленку

1.7 Выводы по главе
И. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ОСОБЕННОСТЕЙ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПРЕДВАРИТЕЛЬНЫМ ФОРМИРОВАНИЕМ МАСОК
2.1 Математическая модель распределение тепловых полей в тонкопленочном диэлектрическом слое
2.2 Анализ результатов математического моделирования
2.3 Электрохимическое формообразование поверхностных элементов с использованием защитных масок произвольной геометрии
2.4 Выводы по главе
III. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ПЛОСКИХ И ФАСОННЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ
3.1 Разработка методик проведения экспериментальных работ 3.2Экспериментальные исследования процесса формирования
равнотолщинного диэлектрического слоя методом электростатического напыления полимерных композиций
3.2.1 Методика экспериментальных исследований процесса формирования равнотолщинного диэлектрического слоя
3.2.2 Экспериментальное оборудование
3.2.3 Результаты экспериментальных исследований З.ЗЭкспериментальные исследования процесса формирования
защитных масок в диэлектрических слоях на неплоских поверхностях
3.3.1 Методика экспериментальных исследований процесса формирования защитных масок
3.3.2 Результаты экспериментальных исследований
3.4Методика экспериментальных исследований процесса формирования защитных масок с использованием трафаретных предмасок

3.5Экспериментальные исследования процесса анодного растворения материала с использованием защитных масок
3.5.1 Методика экспериментальных исследований процесса анодного растворения
3.5.2 Экспериментальное оборудование
3.5.3 Результаты экспериментальных исследований
3.5.4 Анализ параметров сформированных поверхностных элементов на различных поверхностях
З.бМетодика проведения экспериментальных исследований процессов глубокого анодного растворения с использованием защитных масок
3.6.1 Методика исследования процесса глубокого анодного
3.6.2 Экспериментальное оборудование
3.6.3 Результаты экспериментальных исследований 3.7Выводы по главе
IV. РАЗРАБОТКА И ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЙ И ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ПЛОСКИХ И ФАСОННЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ
4.1 Технологическая установка ЛУФМ
4.1.1 Механизм слежения за эквидистантностью к поверхности
4.1.2 Блок накачки лазерного диода
4.1.3 Система сопряжения стоек ЧПУ с современными вычислительными комплексами
4.1.4 Специфика написания программного обеспечения для управления стойками ЧПУ современными вычислительными комплексами
4.2 Экспериментальная установка для процесса глубокого анодного растворения
4.3 Разработка технологического регламента формирования поверхностных элементов с использованием трафаретных предмасок

подложки - сталь Х18Н10Т. Основные физические константы обоих материалов приведены в таблице 2.1.
Таблица 2.1.
Исходные параметры материалов и условия для моделирования.
Наименование параметра Значение параметра
Смола:
Температура плавления, °С
Температура испарения, °С
Теплоемкость, кДж/кг*град 1930
Теплопроводность, Вт/м*град 0,16
Коэффициент теплоотдачи 0,45
Плотность, кг/м3 1340
Толщина слоя, мкм
Сталь XI8Н1 ОТ:
Температура плавления, °С 1773
Теплоемкость, кДж/кг*град 0,48
Теплопроводность, Вт/м*град 74,4
Плотность, кг/м3 7880
Источник ЛИ:
Мощность, Вт
Длина излучения, мкм 1,064
Скорость движения лазерного луча, м/с 0,001-0,2
Размер фокального пятна, мкм 100x50
В результате проведения математического моделирования найдены:
- зависимости геометрических параметров лунки от скорости движения источника лазерного излучения;
- распределение теплового поля в материалах пленки и подложки;