Микроструктурированные стеклообразные и кристаллические оптические материалы

• Автор: Поволоцкий, Алексей Валерьевич
• Шифр специальности: 01.04.21
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2006
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 102 с. : ил.

1 Микроструктурированные материалы

1.1 Микроструктурированные материалы в современной науке и

технике

1.2 Методы создания тонких пленок

1.3 Импульсное лазерное осаждение тонких пленок

1.3.1 Материалы для получения пленок методом ИЛО

1.3.2 Лазерные источники для ИЛО

1.4 Халькогенидные стеклообразные тонкие пленки

1.5 Фотоиндуцированные изменения в тонкопленочных структурах ХГС

1.6 Кристаллические пленки ЫИЬОз

1.7 Выводы
2 Экспериментальные установки
2.1 Экспериментальная установка по импульсному лазерному
осаждению
2.1.1 Оптическая схема установки по импульсному лазерному осаждению

2.1.2 Вакуумная схема установки по импульсному лазерному осаждению
2.2 Методы и оборудование по исследованию структуры
2.2.1 Комбинационное рассеяние света
2.2.2 Рентгеновская дифрактометрия
2.3 Методы и оборудование по исследованию оптических свойств
2.3.1 Спектроскопия поглощения и отражения
2.3.2 Измерение показателя преломления
2.4 Выводы
3 Импульсное лазерное осаждение стеклообразных пленок
3.1 Исследование свойств мишени состава 15(Оа23з) - 85(Ое32)
для импульсного лазерного осаждения
3.2 Импульсное лазерное осаждение стеклообразных халькогенидных пленок
3.2.1 Образование дефектов в пленках при импульсном лазерном осаждении
3.2.2 Исследование структуры халькогенидных стеклообразных пленок
3.2.3 Оптические свойства халькогенидных пленок
3.2.4 Фотоиндуцированные изменения в пленках ХГС
3.3 Выводы
4 Импульсное лазерное осаждение кристаллических пленок
4.1 Исследование свойств мишени состава ХлИЬОз для импульсного лазерного осаждения

4.2 Импульсное лазерное осаждение ЬіИЬОз:Ие тонких пленок
4.2.1 Напыление на аморфную БЮг подложку
4.2.2 Напыление на Бі (111) подложку
4.3 Выводы
Основные результаты и выводы
Литература

3. Импульсное лазерное осаждение стеклообразных
пленок
Для получения стеклообразных тонких пленок в качестве мишени использовались халькогенидные стекла эвтектического состава 15(Са2Зз) -85(Се32).
3.1. Исследование свойств мишени состава 15(Оа28з) - 85(Се82) для импульсного лазерного осаждения
Основные параметры стекол состава 15(Оа233) - 85(Ое32): оптическая область прозрачности 450 — 12000 нм, показатель преломления равен 2, максимальная энергия фононов 450 см-1 /А1-А9/.
Структура стекол состава 15(0а23з) - 85(Се32) относительно хорошо изучена. Основными структурными единицами являются тетраэдры Ое34 и Оа34, которые через связи Э-Э формирует ЗБ решетку. Атомные массы Са и Се близки и на спектрах комбинационного рассеяния линии, соответствующие колебаниям этих атомов, не разрешаются. Поэтому, для простоты изложения, в дальнейшем будут описываться только колебания атомов Се, считая что для атомов Са результаты аналогичны.
Спектр КРС халькогенидного стекла состава 15(Са2Зз) - 85(Се32) представлен на Рис. 3.1. Спектр включает четыре основные линии, соответствующие четырем основным колебаниям тетраэдра СеБ4(Рис. 3.2). Самый