Осаждение углеродных и алмазоподобных пленок при помощи плазменных струй

• Автор: Цыганов, Дмитрий Леонидович
• Шифр специальности: 01.04.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 159 с. : ил.

ГЛАВА 1 . СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ, ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ

1.1 СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДА

1.2 СВОЙСТВА ПЛЕНОК И ИХ ВЗАИМОСВЯЗЬ С МЕТОДАМИ ПОЛУЧЕНИЯ

1.3 ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК

1.4 ПЕРСПЕКТИВНЫЕ СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ АПП, ОСНОВАННЫЕ НА МЕТОДЕ ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ (СУБ-МЕТОД)
1.5 ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СИНТЕЗА АЛМАЗНЫХ И АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК СПОСОБОМ ОСАЖЕНИЯ В ПЛАЗМЕННОЙ СТРУЕ, ИЗГОТОВЛЕННОЕ НА БАЗЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫХ НАГРЕВАТЕЛЕЙ ГАЗА (ПЛАЗМОТРОН) ПОСТОЯННОГО ТОКА

1.6 ЗАКЛЮЧЕНИЯ ПО ПЕРВОЙ ГЛАВЕ

ГЛАВА 2 УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК

2.1 ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННАЯ УСТАНОВКА ВПУ-2М

2.2 ОПИСАНИЕ ПРИНЦИПИАЛЬНОЙ СХЕМЫ ПЛАЗМОТРОНА

2.3 ТЕХНИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ КОНСТРУКЦИИ РАЗРАБОТАННОГО ПЛАЗМОТРОНА С МЭВ

2.4 СХЕМА ВОДОСНАБЖЕНИЯ
2.5 ВОЛЬТ-АМПЕРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
2.6 РАСЧЕТ ТЕПЛОВЫХ ПОТЕРЬ И СРЕДНЕМАССОВОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ ДЛЯ ПЛАЗМОТРОНА С МЭВ
2.7 РАСЧЕТ СТЕПЕНИ ИОНИЗАЦИИ ПЛАЗМЫ
2.8 ЗАКЛЮЧЕНИЕ ПО ГЛАВЕ
ГЛАВА 3 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ, СТРУКТУРУ И СОСТАВ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК
3.1 ПРЕДВАРИТЕЛЬНЫЕ СООБРАЖЕНИЯ ПО ПРОВЕДЕНИЮ ЭКСПЕРИМЕНТА НА УСТАНОВКЕ ВПУ
3.2 МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ ФАЗОВОГО И ПРИМЕСНОГО СОСТАВА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК
3.3 РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫ И ПРИМЕСНОГО СОСТАВА УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫЕ НА ПЕРВОЙ СТАДИИ ОТРАБОТКИ ТЕХНОЛОГИИ ПХО
3.4 РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ОПЫТНЫХ ПАРТИЙ ПЛЁНОК НА СТАДИИ ОТРАБОТКИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ В КАЧЕСТВЕ РЕАГЕНТА АЦЕТИЛЕНА
3.5 ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ НАНЕСЕНИЯ НА СТРУКТУРУ, ФАЗОВЫЙ И ПРИМЕСНЫЙ СОСТАВ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ ИЗ МЕТАНА
3.6 СТРУКТУРА И ПРИМЕСНЫЙ СОСТАВ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ ИЗ АЦЕТИЛЕНА
3.7 ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ АЛМАЗОПОДОБНОЙ ПЛЕНКИ
3.8 ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ОТЖИГА НА АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПЛЕНКИ
3.9 ЗАКЛЮЧЕНИЕ ПО ГЛАВЕ
ГЛАВА 4 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СТОЙКОСТИ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА, ОСНАЩЕННЫМИ ПЛАСТИНАМИ С ОСАЖДЕННОЙ АП и АПП
4.1 ПРЕДВАРИТЕЛЬНЫЕ СООБРАЖЕНИЯ ПО ИССЛЕДОВАНИЮ ПЛЕНОК НА КАРБИДЕ ВОЛЬФРАМА (ТВЕРДОСПЛАВНЫХ ПЛАСТИН)
4.2 ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТОЧЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ ИНСТРУМЕНТАМИ, ОСНАЩЕНЫМИ ПЛАСТИНКАМИ С АПП
4.2.1 РАБОТА ПЛАСТИНОК ПРИ ТОЧЕНИИ
4.2.2 РАБОТА ПЛАСТИНОК ПРИ ФРЕЗЕРОВАНИИ
4.3 ЗАКЛЮЧЕНИЕ ПО ГЛАВЕ
ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ
ПРИЛОЖЕНИЕ I
ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ИНСТРУКЦИЯ. ОСАЖДЕНИЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ
ПЛЕНОК НА РАБОЧИЕ ПОВЕРХНОСТИ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА
ПРИЛОЖЕНИЕ II
БИЗНЕС - ПЛАН ПО ПРОЕКТУ НИОКР " МОДЕРНИЗИРОВАТЬ, ИЗГОТОВИТЬ И ВНЕДРИТЬ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННУЮ УСТАНОВКУ ВПУ-2. ИССЛЕДОВАТЬ И РАЗРАБОТАТЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ОСАЖДЕНИЯ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ СУЭ НА РЕЖУЩИЙ ИНСТРУМЕНТ И ПАРЫ ТРЕНИЯ "
ПРИЛОЖЕНИЕ III
МЕТОДИКА ОЖЕ-ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК
ПРИЛОЖЕНИЕ IV
РАСЧЕТ ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ СОЗДАННОЙ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЙ УСТАНОВКИ ВПУ-2М
ПРИЛОЖЕНИЕ V
КОМПЛЕКТ ДОКУМЕНТОВ НА ВРЕМЕННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ИЗНОСОСТОЙКИХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ
ПЛЕНОК (ДЛЯ ОПЫТНОЙ ПАРТИИ)
ПРИЛОЖЕНИЕ VI
АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ НИР В ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ ПРОЦЕСС
ПРИЛОЖЕНИЕ VII
АКТ ВНЕДРЕНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ НИР В УЧЕБНЫЙ ПРОЦЕСС
ПРИЛОЖЕНИЕ VIII
КОНСТРУКТОРСКАЯ ДОКУМЕНТАЦИЯ. СХЕМЫ ВОДО- И ГАЗОСНАБЖЕНИЯ

ресурса или аварийном выходе из строя в условиях предприятий-потребителей и многое другое.
С помощью разработанной установки ВПУ-2М возможно реализовать высокоскоростной метод осаждения пленок из газовой фазы в вакууме при пониженном давлении (СУВ-мстод) с оптимальными технико-экономическими показателями производства ЛПП на различных подложках.