Исследование многослойных наноструктур и теплофизических процессов синтеза интерметаллидов на их основе

• Автор: Носырев, Антон Николаевич
• Шифр специальности: 01.04.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 233 с.

ГЛАВА 1. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ И СВЕРХМНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР БИНАРНОГО СОСТАВА
1.1. Экспериментальный стенд для создания металлических многослойных и сверхмногослойных наноструктурированных материалов и покрытий бинарного состава методом магнетронного напыления

1.1.1. Конструкция катодного узла магнетронной распылительной системы

1.1.2. Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы

1.1.3. Рабочие параметры экспериментального оборудования

1.2. Экспериментальный стенд для получения многослойных и

сверхмногослойных наноструктурированных материалов и покрытий методом ионно-лучевого распыления

1.2.1. Конструкция технологического ускорителя

1.2.2. Разрядные характеристики ускорителя

1.2.3. Рабочие параметры оборудования

1.3. Выводы
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРО - И НАНОСТРУКТУРЫ МНОГОСЛОЙНЫХ И СВЕРХМНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР БИНАРНОГО СОСТАВА
2.1. Исследование слоистого строения многослойных и сверхмногослойных наноструктур методом растровой электронной микроскопии

2.2. Исследование слоистого строения многослойных и сверх-многослойных материалов методом просвечивающей электронной микроскопии
2.3. Исследование слоистой структуры и химического
состава
2.3. Исследование топологии поверхности наноламинатов
2.4. Исследование кристаллографической структуры и фазового состава многослойных пленок методом рентгеноструктурного анализа
2.6. Выводы
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ РАСПРОСТРАНЕНИЯ ВОЛНЫ САМОПОДДЕРЖИВАЮЩЕЙСЯ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКОЙ РЕАКЦИИ В МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТА-СТАБИЛЬНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУРАХ
3.1. Скоростная фото- видеорегистрация динамики
самораспространяющегося высокотемпературного синтеза
компонентов в многослойных фольгах
3.2. Регистрация температурных изменений во фронте
самоподдерживающейся экзотермической реакции
3.3. Выводы
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, СИНТЕЗИРОВАННЫХ НА ОСНОВЕ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУР МЕТОДОМ САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА
4.1. Исследование поперечных сколов пленок интерметаллидов
4.2. Исследование процессов трансформации слоистой
структуры многослойных пленок в процессе нагрева

4.3. Исследование характера распределения атомов реагентов в пленках интерметаллидов после экзотермической реакции
4.4. Кристаллографические исследования пленок интерметаллидов, синтезированных на основе многослойных наноструктур
4.4.1. Кристаллографические особенности пленок интерметаллидов, созданных на основе многослойных структур Ti-Al
4.4.2. Кристаллографические особенности пленок интерметаллидов, созданных на основе многослойных структур Hf-Al
4.4.3. Кристаллографические исследования структурных изменений в многослойной системе Cu-АІ при нагреве
4.5. Выводы
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Рис. 1.3. Формирование слоистой структуры методом магнетронного напыления: СИ - вакуумная камера; П - подложкодержатель; М1, М2 - магнетроны; пі, п2 - подложки; РАЇ, РА2 - потоки атомов; ММ — многослойная композиция
Рис. 1.4. Общий вид экспериментальной установки