Электрические и оптические свойства пиролитических пленок окислов металлов

• Автор: Салун, Владимир Савельевич
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 141 c. : ил

ГЛАВА I. Полупроводниковые и диэлектрические пленки

окислов металлов: получение, свойства, применение

1.1. Методы получения и области применения прозрачных проводящих покрытий-(.ППП)

1.2. Кристаллическая структура окисных полупроводников

1.3. Электрические и оптические свойства ППП, .<9

1.3.1. Точечные дефекты и концентрации квазисвободных электронов в полупроводниковых окислах

1.3.2. Механизмы рассеяния электронов проводимости

1.3.3. Оптические свойства ППП

1Л. Диэлектрические пленки окислов металлов

и их применение в микроэлектронике

1.5. Электрическое старение и пробой окисных

диэлектриков
1.5.1. Тепловой пробой диэлектриков
1.5.2. Электрический пробой диэлектриков
1.5.3. Механизмы электрического старения диэлектриков
Выводы
ГЛАВА 2. Получение пленок окислов металлов методом
пиролиза
2.1. Факторы, влияющие на процесс осаждения
пленок окислов металлов из метцлдоорганик
ческих соединений (МОС)

4.4. Определение оптимальных параметров процесса осаждения пленок окислов металлов из МОС
Выводы
ГЛАВА 3. Физические свойства прозрачных проводящих пленок 1пг03:5п
3.1. Электрические свойства ППП //?2$з;«5У
3.4. Оптические свойства пленок 1п20^^п . . . 6?
3.4.1. Методика определения спектральной зависимости коэффициента поглощения света
3.4.4. Экспериментальное исследование механизмов поглощения света в пленках<2/7
3.4.3. Отражение и плазменный резонанс в пленках
1пг03-$п
3.3. Влияние химического состава и кристаллической структуры пленок 1пг03-Зп на их электрофизические параметры
3.3.1. Кристаллическая структура пленок Тл203:£п77
3.3.Л. Химический состав пленок 1лг03:Зп
3.3.3. Механизм влияния послеростового отжига
на электрофизические параметры ППП
Выводы
ГЛАВА 4. Пиролитические окисные пленки диэлектриков
4.1. Влияние внешних факторов на электрическую прочность окисных пленок диэлектриков
4.1.1. Объекты исследования и экспериментальная установка
4.1.4. Результаты экспериментального исследования пробоя окисных пленок диэлектриков
4.1.3. О возможном механизме пробоя окисных
пленок диэлектриков

4.2. Спектральные и цветовые характеристики
окисных пленок диэлектриков
Выводы
ГЛАВА 5. Применение пиролитических пленок окислов металлов-Н?
Выводы
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ
Материал Исходный ПрОДЇКТ _сЧ О О T/C Газ-носитель Скорость потоке,, мл/мин
Іпг 03 ■' Sn 43% (CgM? 02)3Zn ■*• 57% (CsH?D2)a S* 170 . 400-420
У/О ( Cg 07 02)гУі 190 4-00-420
0гг03 (?S F? Ог)3 Cr 175 380-400 Ы2
Jfé'2 Os (cs yoz)3j? 160 430-450 1О%02+90% И/2 300 і о