Особенности дефектной структуры полупроводниковых материалов, связанные с упругой анизотропией

• Автор: Подрезов, Анатолий Аркадьевич
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1983
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 157 c. : ил

ГЛАВА I. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСИ СО СТРУКТУРНЫМИ ДЕФЕКТАМИ • КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР)

1.1. Взаимодействие атомов примеси и дислокаций в

объеме кристалла

1.2. Внутренние границы раздела в кристалле. Их взаимодействие с атомами примеси

1.3. Взаимодействие дефектов на свободной поверхности кристалла

1.4. Выводы

1.4.1. Упругое взаимодействие примесь-дислокация

1.4.2. Структура межзеренных границ и взаимодействие примеси с упругими полями таких границ

1.4.3. Упругое взаимодействие дефектов на свободной поверхности

ГЛАВА 2. ВЛИЯНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ УПРУГОЙ ПРИМЕСНОЙ АТМОСФЕРЫ

НА ОРИЕНТАЦИЮ ПРЯМОЛИНЕЙНЫХ КРАЕВЫХ ДИСЛОКАЦИЙ

2.1. Расчетные формулы и результаты их
качественного рассмотрения
2.1.1. Определение k;j и G'ij методом решения уравнений совместности деформаций
2.1.2. Зависимость энергии взаимодействия дислокация-атмосфера от концентрации примеси. Возможность переориентации дислокационной линии
2.2. Результаты количественных расчетов для системы дислокация-атмосфера в кремнии
2.2. Г. Собственная энергия дислокации

2.2.2. Энергия взаимодействия дислокация-атмосфера
2.2.3. Энергия системы дислокация-атмосфера
2.3. Обсуждение корректности применения статистики Больцмана для описания распределения примесных атомов в атмосфере
2.4. Твердый растворы с двумя типами примеси
2.5. Использование полученных результатов для интерпретации экспериментально наблюдаемого эффекта переогранки шестиугольной петли Франка в легированном кремнии
2.6. Выводы
ГЛАВА 3. МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИСЛОКАЦИЯМИ ВОЛЬТЕРРА МЕЖЗЕРЕННОЙ <Ю0> ГРАНИЦЫ ВРАЩЕНИЯ В КРИСТАЛЛАХ С Г.Ц.К. РЕШЕТКОЙ
3.1. Малоугловая граница
3.1.1. Поле смещений и структурный фактор рассеяния
на границе в изотропной среде
3.1.2. Малоутловая граница в анизотропной среде
3.1.3. Влияние ориентации сетки зернограничных дислокаций на расположение и интенсивности дифракционных рефлексов *
3.2. Большеутловая граница
3.2.1. Поле смещений отдельной дислокации
3.2.2. Поле смещений сетки зернограничных дислокаций.
Структурный фактор рассеяния на границе
3.3. Структурный фактор рассеяния на границе с большим угловым несоответствием (сравнение с литературными данными)
3.4. Дилатационные поля сетки зернограничных дислокаций. Перераспределение примеси вблизи границы
3.5. Выводы

ГЛАВА 4. УПРУГОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ НА <ЮО>
СВОБОДНОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛА
4.1. Поле смещений дефекта на поверхности
4.2. Энергия взаимодействия поверхностных дефектов
4.3. Взаимодействие дефектов в приближении кристалла изотропной средой
4.4. Влияние упругой анизотропии на поля смещений и энергию взаимодействия дефектов на поверхности
4.5. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ

Таблица 2
Орты дислокационной системы координат, вид матриц приведенных податливостей и энергетического фактора, вид характеристического уравнения. Так как матрицы симметричные, приводятся только их верхние половины
Направление дислокации
<11 0> <11 2>
• и 1/1? и,»И} 1Ж|1ИИ1
{0,1,0} №{-1,0,1}
тг № {-1,ои} 1/(Р{1,-2,1]
11 12 0 0 0 0 11 12 0 0 15
22 0 0 0 0 22 0 0 25
$« 0 0 0 0 0 0 0
У -Х> о о ЧЧ 0
5-5- 0 55
Чк
характерис-
тическое (рЧааХр** СЦр^а^О р6+а!грЧа4р2+ао
уравнение
о о -X
Ч‘ к2 0 кг
кз