Оптическая спектроскопия водородных и углеродных центров в полупроводниках

• Автор: Лавров, Эдуард Владимирович
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 157 с. : ил.

Глава 1 Экспериментальные методы

1.1 Методики приготовления образцов

1.1.1 Электронное облучение

1.1.2 Протонная имплантация

1.1.3 Гидрогенизация из плазмы

1.2 Методики измерений

1.2.1 ИК поглощение

1.2.2 Комбинационное рассеяние света

1.2.3 Электронный парамагнитный резонанс

Часть I Углерод в кремнии

Введение к части I

Глава 2 Углеродные димеры в кремнии
2.1 Постановка задачи
2.2 Сз-а
2.2.1 Колебательные моды В формы С8-С1
2.2.2 Колебательные моды Л формы С3-С;
2.2.3 Сравнение с теорией
2.2.4 Интенсивности спектральных линий
2.3 Сз-Сз
2.3.1 Основные свойства линий поглощения
2.3.2 Идентификация линий поглощения
2.3.3 Формирование С3-С3
2.3.4 Колебательные моды С8-С8
2.3.5 Интенсивности спектральных линий
2.4 Выводы
Глава 3 Центры углерод—примесь в кремнии
3.1 Постановка задачи
3.2 Ci-Sns
3.2.1 Свойства линий поглощения
3.2.2 Сравнение с теорией и идентификация линий поглощения
3.3 С3Н+с
3.3.1 Свойства линий поглощения
3.3.2 Сравнение с теорией и идентификация колебательных мод
3.4 Ся-Н---Н-Св
3.4.1 Общие свойства линий поглощения
3.4.2 Одноосное сжатие
3.4.3 Сравнение с теорией и идентификация колебательных мод
3.4.4 Резонанс Ферми
3.4.5 Интенсивности линий поглощения
3.5 Выводы
Часть II Водород в полупроводниках
Введение к части II
Глава 4 VnHт центры в Si
4.1 Постановка задачи
4.2 Комбинационное рассеяние света на VnHm центрах
4.2.1 Свойства линий рассеяния
4.2.2 Идентификация наблюдаемых спектральных линий
4.2.3 Расчет наблюдаемых свойств спектральных линий
4.3 Выводы
Глава 5 Водородные нанодиски (platelets) в Si и Ge
5.1 Постановка задачи
5.2 Молекулярная структура и эволюция водородных нанодисков в Si и Ge
Углеродные димеры в кремнии