Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией СВЧ разрядом при средних давлениях
- Автор:
Дворкин, Владимир Владимирович
- Шифр специальности:
01.04.08
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2004
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
133 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией СВЧ разрядом при средних давлениях», автор — Дворкин, Владимир Владимирович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.08. Работа подготовлена в городе Москва в 2004 году. Объем работы: 133 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002635713. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Особенности процесса ускорения ионов катодной струи импульсного вакуумного разряда | Горбунов, Сергей Петрович | 2005 |
| Экспериментальное исследование газового разряда в квазиоптических пучках электромагнитных волн | Зорин, Владимир Гурьевич | 2007 |
| Асимптотическая теория МГД равновесия и устойчивости плазмы большого давления в несимметричном торе | Щепетов, Сергей Викторович | 1997 |