ОЖЕ-спектроскопия высокого энергетического разрешения соединений азота

• Автор: Михайлов, Геннадий Михайлович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Черноголовка
• Количество страниц: 166 c. : ил

ГЛАВА I. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ И ТОНКАЯ СТРУКТУРА КУУ ОЖЕ-СПЕКТРОВ (Литературный обзор)

§ 1.1. Физические основы метода оже-спектроскопии

§ 1.2. Тонкая структура КУУ оже-епектров азота

и других легких элементов

§ 1.3. Интерпретация спектров валентных ожепереходов

§ 1.4. Постановка задачи исследования

Глава II. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

§ 2.1. Измерение оже-спектров твердых тел

§ 2.2. Обработка экспериментальных оже-спектров42

Глава III. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СИММЕТРИИ Iой КООРДИНАЦИОННОЙ СФЕРЫ И ПРИРОДЫ ЛИГАНДОВ ОКРУЖЕНИЯ АЗОТА НА ОЖЕ-СПЕКГР

§ 3.1. Оже-спектры линейных частиц -X = N

§ 3.2. Оже-спектры тригональных частиц
§ 3.3. Оже-спектры тетраэдрических частиц
§ 3.4. Оже-спектры азота поликристаллических
H3NCH3CI, H3NOHCI и (NH2)2CS
§ 3.5. Влияние природы лигандов 2ой КС на
оже-спектр азота
§ 3.6. Обсуждение результатов главы Ш
Глава IV. ИНТЕРПРЕТАЦИЯ N (КУУ) ОЖЕ-СПЕКТРОВ
§ 4.1. Формализм расчета оже-энергий и вероятностей оже-переходов

§ 4.2. Расчет оже-спектра азота N^01
§ 4.3. Расчет оже-спектра азота КЫОд
§ 4.4. Расчет оже-спектра азота НСИ
§ 4.5. Заключение к главе 1У
Глава V. Ы(КУУ) ОЖЕ-СПЕКТРЫ И ЭЛЕКТРОННОЕ СОСТОЯНИЕ АЗОТА НА ПОВЕРХНОСТИ НИТРИДОВ
§ 5.1. Оже-спектры и электронное строение поверхности нитрида бора графитоподобного и сфалеритоподобного
§ 5.1.1. Гексагональный графитоподобный нитрид
бора
§ 5.1.2. Кубический сфалеритоподобный нитрид
бора
§ 5.1.3. Сопоставление оже-спектров нитрида бора двух модификаций и выводы к § 5.1. .**4
§ 5.2. N (КУУ) оже-спектры и электронное состояние азота в поверхностных слоях 3с1 -металлов
§ 5.2.1. Исследование Ы(КУУ) оже-спектра
К'-фазы Ге4Ы
§ 5.2.2. N (КУУ) оже-спектры и электронное состояние азота, имплантированного в 3<А-металлы
§ 5.2.3. Заключение к § 5
ПРИЛОЖЕНИЕ I
ПРИЛОЖЕНИЕ П
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА

Среди методов анализа поверхности твердых тел, используемых в настоящее время для решения задач физики металлов и полупроводников, физической электроники, химической технологии, катализа важную роль играет оже-спектроскопия. Достоинствами этого метода являются: высокое пространственное разрешение (~ 100 нм), возможность проведения элементного анализа, хорошая "поверхностная" чувствительность (Л 1-3 нм) [1-4]. В последнее время получило развитие новое направление этого метода, основанное на эффекте Оже с участием валентных электронов, - оже-спек-троекопия высокого энергетического разрешения. Тонкая структура спектров валентных оже-переходов содержит информацию об электронном строении вещества, которая в некотором смысле аналогична получаемой из ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, но в то же время, поскольку в валентных оже-переходах участвуют также и электроны внутренних уровней, содержит элементную характеристичность, свойственную рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Участие внутренних атомных электронов в оже-переходах определяет некоторую пространственную локализованность оже-процесса, что отражается, например, в большей чувствительности оже-спектра к строению и природе окружения атома, претерпевающего оже-распад.
Однако при интерпретации оже-спектров, в частности, КУУ оже-спектров соединений легких элементов, используется ряд приближений, которые можно разделить как относящиеся к описанию оже-процесеа, так и к описанию электронной структуры вещества, атомы которого участвуют в оже-распаде. Теорию оже-процеееа с

Глава III
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СИММЕТРИИ 1-ОЙ КООРДИНАЦИОННОЙ СФЕРЫ И ПРИРОДЫ ЛИГАНДОВ ОКРУЖЕНИЯ АЗОТА НА ОЖЕ-СПЕКТР
В литературе практически отсутствуют данные по исследованию тонкой структуры М(КУУ) оже-спектров индивидуальных соединений известного строения. Поэтому первым шагом в решении основной задачи настоящего исследования было измерение Ы(КУУ) оже-спектров высокого разрешения ряда индивидуальных соединений азота.
В этой главе исследуется чувствительность формы оже-спектров к симметрии и природе лигандного окружения азота, кроме этого «определяется” то насколько оже-спектр азота является характеристичным.
В параграфах 3.1-3.3 обсуждаются оже-спектры соединений азота, находящегося в &р , и зр3 гибридизации, что определяет направленность его валентных связей и расположение атомов окружения, которое можно классифицировать как линейное, тригональ-ное и тетраэдрическое, а в §§ 3.4-3.5 исследуется влияние заместителей 1-ых и 2-ых координационных сфер на форму спектра.
Выбор исследуемых соединений определялся следующими требованиями: устойчивостью образцов в условиях измерений оже-спектров, что контролировалось измерением РФ-спектров; известностью структуры этих соединений.
Для качественного отнесения компонент тонкой структуры оже--спектров использована формула (7) для определения оже-энергий через потенциалы ионизации в приближении = сог^ , то
есть пренебрегалась зависимость эффективной энергии взаимодейст-