Ближний порядок и межатомное взаимодействие в аморфных неметаллических пленках

• Автор: Попова, Ирина Александровна
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Воронеж
• Количество страниц: 153 c. : ил

ВВЕДЕНИЕ - •

1. БЛИЖНИЙ ПОРЯДОК И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ

МЕТОДЫ ЕГО ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Общие представления о ближнем порядке и

межатомном взаимодействии в твердом теле

1.2. Две тенденции в понятии структуры

аморфных веществ ... II

1.3. Электронографический метод исследования структуры аморфных пленок. Функция радиального распределения атомов и ее интерпретация
1.4. Метод обработки экспериментальных кривых интенсивности рассеяния электронов без предварительного учета фона

1.4.1. Определение интерференционной функции в относительных единицах

1.4.2. Методы нормирования интерференционной

функции
1.4.3. Эффект обрыва, ложные максимумы, их влияние на кривые радиального распределения атомов
и способы учета
1.4.4. Определение межатомных расстояний, координационных чисел, средних квадратичных смещений атомов и характеристической температуры Дебая
2. ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКПЕ ИССЛЕДОВАНИЕ БЛИЖНЕГО ПОРЯДКА В АМОРФНЫХ ПЛЕНКАХ ОКИСЛОВ АЛКШНЙЯ, ТАНТАЛА, НИОБИЯ
2.1. Способы приготовления и область использования пленок А12о3 ,та2о5и иъ2о5 . Общие сведения о физико-химических свойствах
2.2. Кристаллические модификации А12о3, Та2о5 и
нъ205
2.3. Общие замечания о структуре аморфных пленок
А12С>3, Та20^ И ИЪ203
2.4. Определение интерференционной функции по экспериментальным кривым рассеяния электронов
2.5. Расчеты кривых радиального распределения атомов, координационных чисел, средних квадратичных
смещений атомов

2.6, Вычисление характеристической температуры
Дебая, углов и энергий связей
2.7. Построение функции некогерентного фона
2.8. Исследования кинетики старения аморфных пленок
2.9, Выводы
3. ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК МОНОАРСЕНИДА И МОНОФОСФИДА КРЕМНИЯ
3.1. Общие сведения о физических свойствах. Способы изготовления и области использования
3.2. Кристаллические модификации пленок SiAs u sip
3.3. Изучение ближнего порядка в аморфных слоях
siAs и sip по электронографическим данным
3.3.1. Общий подход к исследованию структуры
аморфных полупроводников
3.3.2. Определение интерференционной функции по экспериментальным кривым рассеяния электронов
3.3.3. Расчет параметров ближнего порядка и термодинамических характеристик
3.4. Рентгеноэлектронные исследования структуры
аморфных пленок SiAs и sip
3.5. К классификации аморфных пленок соединений
группы А *1?
3.6. Выводы
4. МОДЕЛИРОВАНИЕ СТРУКТУРЫ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО
4.1. Общий подход к моделированию аморфных структур
4.2. Метод Монте-Карло и его применение к моделированию структуры аморфных веществ
4.3. Учет связей между атомами одного сорта
4.4. Выбор исходных данных
4.5. Введение полицентральной модели и коррекция
краевого эффекта
4.6. Статистика химических связей и критерий достоверности сконструированных моделей
4.7. Выводы
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА

Актуальность темы. В настоящее время изучению структуры аморфных материалов уделяется большое внимание. Это обусловлено главным образом двумя обстоятельствами. Во-первых, использование аморфных веществ в приборах с принципиально новыми возможностями синтеза схем управления, усиления, запоминания, как вычислительных сред с переменной структурой и особенно в связи с перспективой применения их в оптоэлектронике и радиационной технике. Во-вторых, вопрос о микроструктуре некристаллических материалов - один из самых крупных неразрешенных вопросов физики твердого тепа. Поэтому экспериментальные исследования ближнего порядка и характера межатомного взаимодействия имеют определяющее значение для выявления и понимания общих закономерностей, которым подчиняются некристаллические вещества, выяснения их природы и новых возможностей использования в технике.
Для определения структуры ближнего порядка наиболее эффективными являются дифракционные методы, методы рентгеновской эмиссионной и электронной спектроскопии, а также ИК-спектроскопии.
С применением указанных методов связаны значительные успехи в изучении атомного порядка, межатомного взаимодействия и построении количественных моделей. Однако эти методы при исследовании аморфных материалов требуют дальнейшего совершенствования как в экспериментальном отношении, так и при обработке и интерпретации результатов. Поэтому использование в нашей работе методов дифракции электронов (в качестве основного экспериментального метода), рентгеновской и ИК-спектроскопии (для подтверждения некоторых данных о характере межатомного взаимодействия в полупроводниковых и диэлектрических пленках) является актуальным в методическом плане.

Интерференционные функции ДЛЯ MA