Спектроскопия упругого отражения электронов как метод диагностики поверхности твердого тела

• Автор: Чистотин, Игорь Андреевич
• Шифр специальности: 01.04.07, 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2008
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 159 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

Глава 1 СОВРЕМЕННЫЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ ОБ УПРУГОМ

ВЗАИМОДЕЙСТВИИ ЭЛЕКТРОНОВ С ТВЕРДЫМ ТЕЛОМ

1.1. Вторично-эмиссионные методы исследования поверхности твердого тела

1.2. Экспериментальные результаты по исследованию интегрального коэффициента упругого отражения электронов

1.3. Экспериментальные результаты по исследованию углового

распределения упруго отраженных электронов ::

1.4. Упругое рассеяние электронов на атомах

1.5. Неупругие потери энергии электронов в твердом теле ,

1.6. Модель однократного упругого рассеяния электронов
1.7. Модель кратного упругого рассеяния и уравнение переноса для расчета характеристик упругого отражения электронов
1.8. Применение метода Монте-Карло для расчета характеристик упругого отражения электронов
1.9. Аналитическое применение спектроскопии упругого отражения электронов для анализа свойств поверхности твердого тела
1.10. Выводы из первой главы
Глава 2 МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1. Экспериментальная методика комплексного исследования
упругого и неупругого взаимодействия электронов с твёрдым телом

2.1.1. Экспериментальный прибор для комплексного исследования дифференциальных и интегральных характеристик взаимодействия электронов с твёрдым телом
2.1.2. Блок-схема экспериментальной установки
2.1.3. Исследуемые образцы и вакуумные условия
2.2. Угловое разрешение энергоанализатора и искажающее влияние коллиматора
2.3. Погрешности измерений интегральных вторичноэмиссионных характеристик
2.4. Компенсация электрических и магнитных полей
Глава 3 РАЗВИТИЕ МЕТОДОВ ДИАГНОСТИКИ
ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА НА ОСНОВЕ ИЗУЧЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК УПРУГОГО ОТРАЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ
3.1. Измерение дифференциальных коэффициентов упругого отражения электронов от поверхностей твердого тела
3.2. Расчет характеристик упругого отражения электронов по методу Монте-Карло
3.3Влияние взаимодействия атомов в твердом теле на рассчитываемые угловые распределения, упру го отраженных электронов
3.41 О возможности модификации модели однократного
упругого рассеяния электронов
3.5. Определение роли однократного упругого рассеяния в упругом отражении электронов средних энергий от поверхностей твердых тел

Применение спектроскопии упругого отражения электронов
для определения концентрации компонентов
многокомпонентных твердых тел и длин свободного пробега
электронов
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЯ

проведено сопоставление результатов расчетов дифференциальных сечений упругого рассеяния на свободных атомах и на атомах твердого тела для Zn и Cd. На рис. 1.17 представлены зависимости полных сечений упругого рассеяния от энергии налетающих электронов для свободных и связанных атомов' Zn и Cd. В-[28] было показано, что отличие результатов расчета наиболее велико в области энергий электронов Е = 50 эВ —500 эВ.
Следует отметить, что. отсутствие экспериментальных результатов дифференциальных сечений упругого отражения на атомах твердого тела-не позволяет указать на корректность применения волновой функции Хартри-Фока-Вигнера-Зейтца для расчета дифференциальных сечений упругого рассеяния на атомах твердого тела.
Существуют различные базы данных [20; 21, 31], в которых приводятся дифференциальные сечения упругого рассеяния, рассчитанные тем или иным способом на основе различных волновых функций. Как показано в [21], наиболее надежные результаты расчета дифференциальных! сечений получаются с использованием волновой' функции Дирака-Хартри-Фока. Поэтому в настоящей работе использовались дифференциальные сечения упругого рассеяния на свободных атомах, рассчитанные с помощью волновой функции Дирака-Хартри-Фока с учетом поляризации, обменных и релятивистских эффектов из новейшей базы данных NIST [21]. Дифференциальные сечения упругого рассеяния в этой базе- данных представлены для веществ с атомным номером Z= 1 ч- 96 и в диапазоне энергий Е- 50 эВ - 300 кэВ;