Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники
- Автор:
Арсенин, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
01.04.04
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2005
- Место защиты:
Долгопрудный
- Количество страниц:
123 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники», автор — Арсенин, Алексей Владимирович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.04. Работа подготовлена в городе Долгопрудный в 2005 году. Объем работы: 123 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002815928. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование разрядов, генерирующих высокоэффективные электронные пучки, и возбуждение ими газовых лазеров | Бельская, Екатерина Викторовна | 2011 |
| Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела | Кобелев, Антон Андреевич | 2019 |
| Оптические наноматериалы и структуры на основе ионообменных стекол | Журихина, Валентина Владимировна | 2015 |