Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники
- Автор:
Арсенин, Алексей Владимирович
- Шифр специальности:
01.04.04
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2005
- Место защиты:
Долгопрудный
- Количество страниц:
123 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники», автор — Арсенин, Алексей Владимирович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.04. Работа подготовлена в городе Долгопрудный в 2005 году. Объем работы: 123 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002815928. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Лазерное возбуждение высоких колебательных состояний молекул гексафторида серы | Зикрин, Б.О. | 1984 |
| Механизм зарядки диэлектрических мишеней при облучении электронными пучками с энергией 1 - 50 кэВ | Евстафьева, Екатерина Николаевна | 2009 |
| Исследование процессов прохождения переходных токов монополярной инжекции в диэлектриках с моноэнергетическими ловушками | Багинский, Игорь Леонидович | 1985 |