Аномалии температурной и угловой зависимости выхода вторичных частиц при ионной бомбардировке металлов

• Автор: Андреев, Андрей Алексеевич
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 141 c. : ил

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
§ 1.1. Эмиссия вторичных частиц при ионной бомбардировке металлов при полиморфном превращении (фазовый переход I рода)
1.1.1. Распыление при полиморфном превращении
1.1.2. Теоретические оценки коэффициентов распыления различных граней монокристалла
1.1.3. Распыление в области магнитного фазового перехода
§ 1.2. Влияние магнитного и полиморфного превращений на вторичную ионную эмиссию
§ 1.3. Ионно-фотонная эмиссия в области фазовых
переходов
§ 1.4. Постановка задачи
ГЛАВА 2. ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРНОГО ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА НА КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ КОБАЛЬТА
§ 2.1. Экспериментальная установка
§ 2.2. Методика проведения измерений
§ 2.3. Результаты измерений и их обсуждение
ГЛАВА 3. ОСОБЕННОСТИ ТЕМПЕРАТУРНОЙ И УГЛОВОЙ ЗАВИСИМОСТИ ВТОРИЧНОЙ ИОННОЙ ЭМИССИИ КОБАЛЬТА ПРИ ПОЛИМОРФНОМ ПРЕВРАЩЕНИИ
§ 3.1. Описание экспериментальной установки
3.1.1. Источник ионов
3.1.2. Линия формирования пучка
3.1.3. Камера образца и средства откачки

3.1.4. Манипулятор образца
3.1.5. Система регистрации вторичных ионов
§ 3.2. Методика проведения измерений
§ 3.3. Влияние полиморфного превращения в монокристалле кобальта на пространственное распределение ВИЗ
§ 3.4. Температурная зависимость ВИЗ монокристалла в области полиморфного превращения
3.4.1. Влияние числа циклов нагрев-охлаждение на вид 1+(Т)
3.4.2. Влияние энергии и массы бомбардирующих ионов на величину изменения
ВИЗ при <*- р переходе
3.4.3. ВИЗ монокристалла Со при переходе в случае бомбардировки в направлении под углом 12° от канала
100011
3.4.4. Зависимость величины изменения ВИЗ монокристалла Со от утла наблюдения
§ 3.5. Вторичная ионная эмиссия поликристалла
кобальта при полиморфном превращении
ГЖВА 4. ОСОБЕННОСТИ ВТОРИЧНОЙ ИОННОЙ И ИОННО-ФОТОННОЙ
ЭМИССИИ НИКЕЛЯ В ОКРЕСТНОСТИ ТОЧКИ КЮРИ
§ 4.1. Вторичная ионная эмиссия монокристалла никеля при магнитном фазовом переходе
4.1.1. Экспериментальная установка и методика измерений
4.1.2. Результаты измерений и их обсуждение
§ 4.2. Ионно-фотонная эмиссия поликристалла
никеля в окрестности точки Кюри
4.2.1. Экспериментальная установка и методика проведения измерений
4.2.2. Результаты измерений и их обсуждение
ГЛАВА 5. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ СПЕКТРЫ И АЗИМУТАЛЬНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ МЕДЛЕННЫХ ЩЕЛОЧНЫХ ИОНОВ РАССЕЯННЫХ ПОВЕРХНОСТЬЮ ПОЛИКРИСТАЛЛА
§ 5.1. Численное моделирование процессов рассеяния ионов низких энергий поверхностью твердого тела
§ 5.2. Методика проведения экспериментов
§ 5.3. Экспериментальные результаты и их обсуждение
ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА

ГЛАВА 3. ОСОБЕННОСТИ ТЕМПЕРАТУРНОЙ И УГЛОВОЙ ЗАВИСИМОСТИ ВТОРИЧНОЙ ИОННОЙ ЭМИССИИ КОБАЛЬТА ПРИ ПОЛИМОРФНОМ ПРЕВРАЩЕНИИ
§ 3.1. Описание экспериментальной установки
Экспериментальная аппаратура, предназначенная для исследования вторичной ионной эмиссии, должна удовлетворять ряду весьма высоких требований С 53 . Поскольку на вторичную ионную эмиссию (ВИЗ) сильное влияние оказывает адсорбция молекул остаточных газов, то для получения атомно-чистой поверхности исследуемых образцов, необходимо поддерживать сверхвысокий вакуум.
Использование для откачки паромасляных насосов приводит к присутствию в откачиваемом объеме паров масел и, как следствие, к образованию углеводородных пленок на поверхности образцов. На это указывает высокий фон углеводородных пиков в масс-спектре вторичных ионов. Для предотвращения образования углеводородных пленок на поверхности мишени, необходимо применять безмасляную откачку.
В связи с тем, что давление рабочего газа в разрядной каме_0 А
ре большинства ионных источников составляет 10 ° - 10 Topp, а в камере образца, по причинам упомянутым выше, давление остаточ-

ных газов должно быть не выше 10 Topp, нужно использовать дифференциальную откачку* При исследовании ВИЗ чистых металлов необходимо бомбардировать образцы ионами благородных газов, не реагирующими химически с атомами исследуемого образца.
Ионный пучок должен быть разделен по массам, хорошо сфокусирован и высокостабилен по энергии и току.
Исходя из этих требований, для проведения исследований закономерности вторичной ионной эмиссии была создана экспериментальная установка, рассчитанная на энергии ионов от 3 до 20 кэВ.