Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала

• Автор: Литвинова, Виктория Александровна
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Томск
• Количество страниц: 156 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение

1 СТЕКЛООБРАЗНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ. ПОЛУЧЕНИЕ И

СВОЙСТВА

1.1 Стеклообразное состояние вещества

1.1.1 Особенности стеклования и стеклообразного состояния

1.1.2 Строение неорганических стекол

1.2 Методы получения стеклообразных тонких пленок

1.2.1 Ионно - плазменное распыление

1.2.2 Золь - гель метод

1.2.3 Металлические стекла

1.2.4 Окисление и анодирование
1.2.5 Плазмо - химические методы
1.3 Оптические свойства в ИК - области спектра
1.4 Подложки для тонких пленок
1.4.1 Материалы и методы получения
1.4.2 Оптика шероховатых поверхностей
1.4.3 Фрактальные свойства шероховатых поверхностей
1.5 Основные выводы по первой главе
2 ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
2.1 Эллипсометр ЛЭФ-72
2.2 Фурье-спектрометр 1п&а1ит РТ-801
2.3 Модуль спектрометрии на базе оптоволоконного двухканалыюго спектрометра АуаБрес-2048РТ-2-ТЕС для ^
измерения коэффициентов отражения и толщины тонких пленок

2.4 Оптический спектрометр и8В-2000
2.5 Растровый электронный микроскоп НПасЫ ТМ-1000
3 ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК
3.1 Профиль поверхности подложек
3.2 Исследования профиля поверхности подложек с 76 использованием атомно-силовой микроскопии
3.2.1 Рельеф и фазовый контраст поверхности
3.2.2 Статистическая обработка результатов АСМ - измерений
3.3 Исходная поверхность п - ОаАэ
3.4 Эллипсометрические исследования поверхности подложек 81 после химической обработки
3.5 Выводы по третьей главе
4 ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ, СОСТАВА И ОПТИЧЕСКИХ 85 ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ ПЛЕНОК ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ
4.1 Исследование оптических свойств наноразмерных тонких 85 пленок ЬЮг методами ИК - спектроскопии
4.2 Анализ полос поглощения ОН - групп
4.3 Результаты исследований оптических свойств наноразмерных пленок диоксида кремния методами эллипсометрии и поляризационной интерферометрии
4.4 Выводы по четвертой главе
5 ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ, СТРУКТУРЫ И ОПТИЧЕСКИХ 105 ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ТАНТАЛА
5.1 Исследуемые образцы пленок Та205
5.2 Электрофизические свойства тонких пленок соединений 108 тантала

5.3 Оптические свойства тонких пленок Та205 в видимом 111 диапазоне длин волн
5.4 Эллипсометрические исследования оптических характеристик 115 тонких пленок Та
5.5 Результаты исследований тонких пленок оксида тантала в 121 инфракрасной области спектра
5.6 Выводы по пятой главе
Основные выводы по работе
Список использованных источников и литературы
Приложение А
Приложение Б
Приложение В
Приложение Г
Приложение Д

Рисунок 1.5 - Количество электричества 0 (на единицу поверхности), необходимое для образования АОП на тантале толщиной, соответствующей интерференции во втором порядке при А.=3500 А [43]. J — плотность тока при анодировании; Т — температура; С — концентрация Н2