Диссертация на тему "Преобразование поверхностных распределений заряда и потенциала методом электростатической индукции", скачать бесплатно автореферат по специальности 01.04.02

Глава I. НАВЕДЕНИЕ ЗАРЯДОВ И ТОКОВ ПОВЕРХНОСТНЫМИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯМИ ЗАРЯДА И ПОТЕНЦИАЛА В СИСТЕМЕ ПРОВОДНИКОВ ПРОИЗВОЛЬНОЙ КОНФИГУРАЦИИ
■ 1.1. Постановка задачи
1.2. Вывод основных соотношений
1.3. Токи, наведенные в проводниках поверхностным распределением заряда
1.4. Токи, наведенные в проводниках поверхностным распределением потенциала
1.5. Основные результаты
Глава 2. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ 30НД0ВЫХ СИСТЕМ
2.1. Зондирующее поле. Аппаратные функции зондовых систем
2.1.1. Зондирующее поле системы для измерения поверхностных зарядов.
Аппаратные функции
2.1.2. Зондирующее поле системы для измерения поверхностного потенциала.
Аппаратные функции
2.2. Коэффициенты передачи измерительных
систем
2.2.1. Коэффициенты передачи линейных ,измерительных систем

2.2.2. Коэффициенты пространственного преобразования по заряду и потенциалу
2.2.3. Коэффициенты передачи параметрических линейных измерительных систем
2.3. Основные результаты
Глава 3. РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ
30НД0ВЫХ СИСТЕМ
3.1. Разрешающая способность в режиме
большого сигнала
3.2. Исследование влияния поверхностных неровностей носителя на разрешающую способность
в режиме малого сигнала
3.2.1. Разрешающая способность линейной зондо-вой системы для измерения заряда с учётом влияния случайных микронеровностей поверхности носителя
3.2.2. Разрешающая способность линейной зон-довой системы для измерения потенциала с учётом влияния случайных микронеровностей поверхности носителя
3.3. Основные результаты
Глава 4. ОПТИМИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ 30НД0ВЫХ
СИСТЕМ С ПОМОЩЬЮ КОРРЕКЦИИ
4.Х. Компенсационный метод измерения
4.2. Синтез электростатической зондовой системы
с заданным коэффициентом передачи
4.3. Восстановление поверхностного распределения заряда (потенциала) по отклику измерительной системы

4.4. Основные результаты
Глава 5. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ РАСПРЕДЕЛЕНИЙ ЗАРЯДА И ПОТЕНЦИАЛА В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СИГНАЛ
5.1. Исследование поверхностных распределений заряда на диэлектрических слоях
5.1.1. Методика измерения поверхностного
заряда
5.Х.2. Обсуждение результатов экспериментального исследования
5.2. Исследование поверхностных распределений заряда на плоских фотополупроводниковых
слоях
5.2.1. Методика измерения поверхностного
заряда
5.2.2. Обсуждение результатов эксперимента
5.3. Исследование поверхностных распределений потенциала
5.4. Определение метрологических параметров зондовых систем с помощью электростатических моделей
5.5. Основные результаты
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЯ

сигнал в первом случае линейно и аппаратная функция не зависит от времени. Для вибрирующего зоцца преобразование является линейным параметрическим, аппаратная функция изменяется во времени по периодическому закону.
Следует отметить, что при измерении заряда пролетным зондом отклик может быть интегрально пропорционален производной от распределения плотности заряда <У , взятой в направлении движения зонда (Табл.2.1). Такой режим измерения целесообразно создавать, например, при контроле равномерности распределения заряда на поверхности носителя.
В большинстве рассмотренных случаев (Табл.2.1, 1,2,4,5,7) вид аппаратной функции с точностью до коэффициентов определяется потенциалом зоццирующего поля V7 (Рис.2.2-5), причём в случае пролетного зоцца коэффициенты постоянны, а для вибрирующего зонда зависят от времени. Как следует из Рис.2.4, 2,5, чувствительность зондовой системы в значительной степени зависит от диэлектрической проницаемости слоя, апертура зонда остаётся практически неизменной.
Для случая цролетного зоцца на Рис.2.б показан вид аппаратной функции плоскопараллельной зондовой системы с однослойным носителем (Табл.2.1, 3^6). При этом выполняются следующие условия: в качестве воздействия рассматривается плотность поверхностного заряда о1 , отклика - наведенный ток , измерительный электрод заземлен или в измерительной цепи включена ёмкость
С . Диэлектрическая проницаемость слоя £ =1. Зависимость аппа-н “*■
ратной функции от координаты ^ характеризует измерительную систему как дифференцирующее устройство, отклик которого пропорционален производной от воздействия, взятой в направлении двиП и
жения зоцца, т.е. 1н * Ъх. * ^полне естественно, что вы-

Название работы	Автор	Дата защиты
Исследования по релятивистской теории спектров водородоподобных атомов	Тюхтяев, Юрий Николаевич	1984
Влияние внешних воздействий на динамические свойства неупорядоченных магнетиков и сверхпроводящий систем	Иордатий, Виталий Петрович	1984
Радиационные и оже-распады многозарядных высоковозбужденных ионов	Кочура, Наталья Олеговна	2009

Электронная библиотека диссертаций

Преобразование поверхностных распределений заряда и потенциала методом электростатической индукции

Рекомендуемые диссертации данного раздела